4.1.3多晶硅薄膜中载流子的传输 ()晶界对多晶硅载流子输运过程的影响： >由于晶界的杂质分凝，使晶粒内的掺杂浓度低于均匀掺杂情况下的掺杂浓 度，减少了有效载流子浓度： >载流子被晶界陷阱俘获，减少了自由载流子数目； >陷阱俘获载流子形成晶粒内耗尽区，使载流子从一个晶粒向另一个晶粒的 输运需要通过热发射或隧穿耗尽区的势垒来进行，载流子迁移率降低。 由于晶界的杂质分凝，使晶粒内的掺杂浓度低于均匀掺杂情况下的掺杂浓 度，减少了有效载流子浓度；  载流子被晶界陷阱俘获，减少了自由载流子数目；  陷阱俘获载流子形成晶粒内耗尽区，使载流子从一个晶粒向另一个晶粒的 输运需要通过热发射或隧穿耗尽区的势垒来进行，载流子迁移率降低。 (1) 晶界对多晶硅载流子输运过程的影响： 4.1.3多晶硅薄膜中载流子的传输