分凝现象,平衡分凝系数,有效分凝系数,正常凝固 平衡分凝系数与杂质集中的关系P20图2-1 BPS公式及各个物理量的含义;分析如何提高分凝效果,如何变成对数形式 影响区熔提纯的因素 区熔的分类,硅和错各采用什么方法 影响区熔的因素: 1)熔区长度 次区熔的效果,1越大越好 极限分布时,1越小,锭头杂质浓度越低,纯度越高 应用:前几次用宽熔区,后几次用窄熔区。 2)熔区的移动速度 电磁搅拌或髙频电磁场的搅动作用,使扩散加速,δ变薄,使kef'与Ko接近,分 凝的效果也越显著 凝固速度f越慢,kef^与Ko接近,分凝的效果也越显著 3)区熔次数的选择 区熔次数的经验公式 n=(1-1.5 4)质量输运 通过使锭料倾斜一个角度,用重力作用消除质量输运效应 锗的水平区熔提纯 根据提纯要求确定熔区长度、区熔速度和次数;清洗石墨舟、石英管、锗锭:将舟装 入石英管、通氢气或抽真空,排气;熔区的产生:高频感应炉(附加电磁搅拌作用);区 熔若干次 硅的悬浮区熔提纯 采用悬浮区熔的原因:高温下硅很活泼,易反应,悬浮区熔可使之不与任何材料接触 利用熔硅表面张力大而密度小的特点,可使熔区悬浮 质量输运问题的对策:硅的熔体密度小,质量迁移向区熔方向进行。因此将熔区从下 向上移动,靠重力作用消除质量迁移 ◆1什么是分凝现象?平衡分凝系数?有效分凝系数 ◆2写出BPS公式及各个物理量的含义,并讨论影响分凝系数的因素。 ◆3.分别写出正常凝固过程、一次区熔过程锭条中杂质浓度Cs公式,并说明各个物理量 的含义 ◆4说明为什么实际区熔时,最初几次要选择大熔区后几次用小熔区的工艺条件。 分凝现象，平衡分凝系数，有效分凝系数，正常凝固，  平衡分凝系数与杂质集中的关系 P20 图 2－1  BPS 公式及各个物理量的含义；分析如何提高分凝效果，如何变成对数形式  影响区熔提纯的因素  区熔的分类，硅和锗各采用什么方法 影响区熔的因素： 1）熔区长度 一次区熔的效果，l 越大越好 极限分布时，l 越小，锭头杂质浓度越低，纯度越高 应用：前几次用宽熔区，后几次用窄熔区。 2）熔区的移动速度 电磁搅拌或高频电磁场的搅动作用，使扩散加速， δ 变薄，使 keff 与 Ko 接近，分 凝的效果也越显著 凝固速 度 f 越慢，keff 与 Ko 接近，分凝的效果也越显著 3）区熔次数的选择 区熔次数的经验公式 n=(1-1.5)L/l 4）质量输运 通过使锭料倾斜一个角度，用重力作用消除质量输运效应 锗的水平区熔提纯 根据提纯要求确定熔区长度、区熔速度和次数；清洗石墨舟、石英管、锗锭；将舟装 入石英管、通氢气或抽真空，排气；熔区的产生：高频感应炉(附加电磁搅拌作用)；区 熔若干次 硅的悬浮区熔提纯 采用悬浮区熔的原因：高温下硅很活泼,易反应，悬浮区熔可使之不与任何材料接触； 利用熔硅表面张力大而密度小的特点，可使熔区悬浮 质量输运问题的对策：硅的熔体密度小，质量迁移向区熔方向进行。因此将熔区从下 向上移动，靠重力作用消除质量迁移  1.什么是分凝现象？平衡分凝系数？有效分凝系数？  2.写出 BPS 公式及各个物理量的含义，并讨论影响分凝系数的因素。  3.分别写出正常凝固过程、一次区熔过程锭条中杂质浓度 Cs 公式,并说明各个物理量 的含义。  4.说明为什么实际区熔时，最初几次要选择大熔区后几次用小熔区的工艺条件