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定量分析提供了有力的依据。Naganuma(1o)等研究了铝合金样品表面粗糙程度,晶粒 大小和厚度对阴极被射及谱线强度的影响。发现同一种合金中不同的金属相被射的情况 有所不同。样品表面粗糙一些,晶粒小些光强被动就小一些。阳极体内径小些光强波动 也会小些。样品薄,表面温度高都会使光强值和电流低一些。久保田正明11)制造了一 个阳极筒(阳极体内的套筒)可换的GDL,用来研究放电参数,藏射斑面积和阴阳极 之间距离等因素对破射草和光强的影响。他认为随着放电面积的加大电流也会增大。 张功杼、徐升美(12)等根据阴极被射规律和低气压放电的理论,提出了用辉光放电 光源作发射光谱分析时,能对电流强度进行校正的工作曲线的数学形式: (Sj)a=Y〔Loge;+LogA+Lo9,(C;).t〕+K 其中Y:照相千板的反衬度;t;:曝光时间 (S,)a:a样品中j元素的黑度,e:j元素的澈发效率 A:电流强度,q:a样品的溅射率 (C,).:a样品中j元素的含量;K:常数 并证明了在选择合适的放电条件下,经过校正后,光源中的“基休效应”可以忽略不 计,在此基础上,以纯金属作标样,建立了用GDL对金属表面进行逐层定量分析的新 技术。 1980年N.P.Ferreira13)等设计了一种可从旁观察光强分布的Grimm辉光放电灯, 以观察放电时其光强沿轴向的分布情况,并通过测量谱线的多普勒变宽,利用公式: △入}〔nm)=7.16×107入√T。A,(:谱线被长,A,:相关原子质显:T:多普勒温 度),求得载气和溅射原子的多普勒温度。由Stark增宽理论可求得电子密度。结果表明 距阴极越远,温度越低。D.C.Mcdonaldc14)用有辅助放电的GDL作为光孤,假定 GDL放电时,发光区处在局部热平衡态(LTE),用铁谐线组法,从Boltzmann分布及 Saha方程求得发光区中的激发温度和电子浓度。C,Vanduk(15)等用-·种结构不同的 GDL,来激发用NC1小球做的样品。然后以波长连续可调的激光照射放电区的各个部 分,通过探测Na原子的蜚光,得到样品溅射后在空间的分布情况。还通过测量脉冲放电电 流的持续时间,得到此时Na原子的扩散系数D=160±50cm2s1(P=200Pa),并推得 一般公式为: D-)(KT)(Pu) K:波尔兹曼常数;T:温度,P:压强;μ,碰撞的约化质量,σ:弹性碰撞截面。 他们还研究了粒子在各能级上的布居及光强沿轴向的分布情况,指出搬射原子所发射的 光强绝大部分在阴极附近,载气原子所发射的光比射原子所发射的要提前约100s。 任建世〔16)介绍了用原子吸收法,来测定GDL中亚稳态氩原子相对密度的方法。实 验结果表明,亚稳态氩原子的吸光度随电压(或气压)的增加单调上升,还观察了几种多 原子气体分子对亚稳态氩原子的猝灭现象。 1,2关于辉光放电现象的理论计算 1976年C.D.West17)等建立了一个理想的GDL放电模型(在T~1000℃,P~几 百P的条件下)。这个模型由内、外两部分组成。内层部分既有发射也有吸收作用, 145定量分析提供 了有 力的依 据 。 〕等研究了铝合金样品表面粗糙程度 , 晶 粒 大小和厚 度对 阴极溅 射及谱 线 强度的影 响 。 发现 同一 种合金 中不 同的金属相溅射的情况 有所不 同 。 样 品表面粗糙 一些 , 晶粒小 些 光 强波动就小 一 些 。 阳极体 内径 小 些光强 波 动 也 会小些 。 样 品薄 , 表面 温度 高都会使 光 强值和 电流低 一些 。 久保 田正 明〔 幻 制造 了 一 个 阳极筒 阳极体 内的 套筒 可换 的 , 用 来研究放 电参数 , 溅 射斑面 积和 阴 阳 极 之 间距 离等 因素对溅 射率 和 光 强的影响 。 他认 为随着放 电面 积 的加 大 电流也会增大 。 张功 杆 、 徐 升 美〔 〕等 根 据阴 极溅 射规律和低气压放 电的理论 , 提 出了用 辉 光放 电 光源 作发射光谱 分析时 , 能对 电流强度进行 校 正的工 作 曲线的数 学形式 〔 。 , , 。 · 〕 其中 照相千板的反衬度 曝 光时 间 样品 中 元素的黑度 元 素的激 发效率 电流强度 。 样品的溅射率 , 。 样品 中 元 素的 含量 常数 并证 明 了在选 择合适 的放 电条件下 , 经 过校正后 , 光源 中的 “ 基体效应 ” 可 以 忽 略 不 计 , 在此 墓础 上 , 以纯金 属 作标 样 , 建立 了用 对金属表面进行逐 层定量分析 的 新 技 术 。 年 〔 〕等设计 了一 种可 从旁观察光强分布的 辉光 放 电灯 , 以 观察放 电时其光 强沿轴 向的分布情况 , 并通 过测量 谱线 的 多普勒 变宽 , 利 用 公 式 △久 〔 〕 一 久侧瓦瓦 久 谱 线波 长 相 关 原子 质量 多普勒温 度 , 求 得载气和溅射原子 的 多普勒温 度 。 由 增宽理论 可求 得 电子 密度 。 结果表 明 距 阴 极越 远 , 温 度 越 低 。 。 刚〕用有辅助 放 电的 作为光 源 , 假 定 放 电时 , 发光 区处在局部热 平衡 态 , 用铁谱线组法 , 从 分 布及 方程求 得发光区 中的激 发温 度和 电子浓 度 。 〔 等用 一 种 结 构 不 同 的 , 来激 发用 小球 做的样 品 。 然后以波长连 续可调 的激光 照射放电区的 各个部 分 , 通 过探测 原子的萤光 , 得 到样品溅 射后在空 间的分布 情况 。 还通 过测量 脉 冲放电 电 流 的持续时 间 , 得到 此时 原子 的扩散 系数 士 “ 一 ’ 二 , 并推得 一般公式 为 备 ‘ , “ ’ 波尔兹 曼常数 林“ ·产含 “ 温度 压强 , 件 碰 撞的约 化质量 弹性碰撞截面 。 他们还研究了粒子 在各能 级 上的布居 及光 强沿轴 向的分布情况 , 指 出溅射原子所 发射的 光强绝大部分在 阴极附近 , 载气原子所 发射 的光 比溅射原子所 发射 的要提前约 , 。 任建世〔比 〕介绍 了用 原子 吸 收法 , 来测定 中亚稳 态氦 原子 相对密度的方法 。 实 验结果 表 明 , 亚稳 态氢 原子 的吸光度随 电压 或气压 的增加 单调 上升 , 还 观察了 几种多 原子 气体 分子对亚稳 态氢原子 的碎灭现象 。 关于辉光放 电现 象的理论计算 年 〔 〕等建立 了一个理想 的 放 电模型 在 ℃ , 几 百 的 条件下 。 这个模型 由内 、 外两 部分组 成 。 内层部分既有发射也有吸收 作 用
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