光是什么? 光是一种电磁波,(在真空中的)可见光波长范围是700^400m;红外光为约700 到107nm量级;紫外光1-400nm;比紫外光短的还有X射线、y射线(<0.001nm)等;

• 10.1 成膜技术 • 10.2 导电薄膜 • 10.3 光学薄膜 • 10.4 磁性薄膜

一、基片 二、成膜工艺 三、性能检测

1.减反膜 2.滤光膜 3 保护膜 4 内反射 5 外反射 6 高反膜

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第七章 光子学薄膜、光学镀膜材料、光学薄膜制备的厚度监控

17.3光程薄膜干涉 一、光程 光在真空中的速度c=1u1 光在介质中的速度u=1ucn

薄膜的聚集密度： P=薄膜中固体部分的体积：薄膜的总体积 薄膜的P在0.75～0.95之间，而大块材料P为1 牢固度和硬度、耐潮湿本领 下降、光的散射和吸收损失 加大导致耐激光损伤能力下 降，折射率随外界环境发生 变化

前言——光学薄膜的应用 薄膜光学是物理光学的一个重要分 支，它研究的对象是膜层对光的反射、 透射、吸收以及位相特性、偏振效应等， 简而言之，它主要研究光在分层媒质中 的传播规律性

§16.1 光矢量 光程 §16.2 光的干涉现象 相干光 §16.3 双缝干涉 §16.4 薄膜的等倾干涉 §16.5 薄膜的等厚干涉 §16.6 迈克耳逊干涉仪 §16.7 光源的相干性

以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶-凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性、厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶-凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅