第一个问题:控制什么? 答:控工艺要求的指标 具体分为两种情况: 1.工艺要求的指标可以直接在线测量直接控制这个指标就可以了(直接指标控制) 2.工艺要求的指标不可以直接在线测量寻找一个于工艺指标有明显的对于关系,且可以测量的另一个间接指标

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