采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功地在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XRP)对薄膜进行了表征.SEM分析结果显示,薄膜的颗粒为纳米级的,并且薄膜致密、平整.AFM分析结果表明,薄膜的粗糙度为11nm.由XPS分析可知,薄膜为基本上符合化学计量比的氧化物.附着力测试表明,Y2O3薄膜与Si衬底的附着力为4.2N.X射线衍射分析结果表明,沉积得到的Y2O3薄膜在热处理前为非晶结构,热处理之后薄膜具有立方晶体结构,并且沿(111)面择优生长

分类 (1) 逐级接触式——板式塔 板式塔：内装塔板，气液传质在板上液层空间内进行； (2) 连续接触式——填料塔、湍球塔 填料塔：内装填料，气液传质在填料润湿表面进行。 (3) 其它传质设备 湿壁塔；鼓泡塔；文丘里混合器…… 功能 气液相传质的场所 提供足够大的传质接触面积 强化气液两相的湍流强度 塔设备的研发思路： (1) 总体上保证气液两相呈逆流流动 提供最大的传质推动力 (2) 每块板上或填料层内保证气液两相充分接触 尽可能减小传质阻力 (3) 提供足够大的气液两相通道 保证大通量、低压降、合适的弹性