北京大学：《近代物理实验 Modern Physics Laboratory》课程教案（独立实验）_3-5 用反射椭偏仪测量折射率和薄膜厚度

表面工程形成一门独立的学科虽然只是近20年的事，但其发展之快、涉及范围之广、对人们生产生活影响之大是当初大多数人所始料未及的。表面工程的概念由英格兰伯明翰大学教授汤·贝尔（TomBell）于1983年首次提出，现已发展成为跨学科的边缘性、综合性、复合型学科。表面工程是将材料表面与基体一起作为一个系统进行设计，利用表面改性技术、薄膜技术和涂镀层技术，使材料表面获得材料本身没有而又希望具有的性能的系统工程。可以说，在材料表面上所发生的各种技术都是表面工程的一部分

前一段时期,电视广告中最为抢眼的要数保暖内衣的广告了。此时人们已有预感,保 暖内衣市场即将开始一场你死我活的明争暗斗。果不其然,没过多久《北京青年报》率先公 布一个检测结果,指出某知名品牌的内衣夹层为塑料薄膜。这不仅使该品牌的产品销售一落 千丈,而且顿时使整个保暖内衣市场也陷入销售疲软

1994 年夏，为防止波特曼酒店楼顶室外网球场灯光散射和高空坠物，酒店 所有者上海商城将该室外网球场用白色塑料薄膜搭建成一个室内网球场，呈现为 一个高约十米左右的“大气包”。居住于波特曼酒店西侧的南阳小区居民认为， “大气包”挡住了小区部分居民家窗外景观，而且每到夏天“大气包”反射出强 烈阳光，使人不得不紧闭窗户和窗帘躲避强光反射，因此从 1995 年就开始向规 划部门反映情况，要求拆除“大气包”，但均因无法可依，最终不了了之

一、光程 1、光在真空中的速度 2、光在介质中的速度

11-0教学基本要求 11-1相千光 11-2杨氏双缝干涉实验劳埃德镜 11-3光程薄膜干涉 11-4劈尖牛顿环 11-5迈克耳孙干涉仪 11-6光的衍射 11-7单缝衍射

第一章 硅的基本性质 第二韋 硅的提纯 第三章 晶体生长原理和基本技术 第四章 硅的体单晶生长和硅片加工 第五章 硅和硅基薄膜的外延生长 第六章 硅材料的测试与分析 第七章 硅中的缺陷 第八章 硅中的杂质

扼要综述了我国等离子体材料工艺研究的新近进展.内容包括:热等离子体源,等离子冶金、化工、超细粉合成、喷涂;低气压非平衡等离子体源,镀膜,表面改性,等离子浸没离子注入;电晕放电,介质阻挡放电,滑动弧等及其应用.当前,各类薄膜制备和表面改性的研究工作最为活跃

本文从器件电极、介质层结构、纳米粒子种类阻变机理和柔性弯折等方面,综述了其近年来的研究进展

一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs