一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、外延生长 外延是在单晶上生长一层同质或异质的薄膜层

一、何謂半導體？ 二、半導體之分類 三、半導體之純度 四、半導體材料之結構 五、一般晶格所常用之術語 六、半導體材料之獲得？ 七、塊材與薄膜之關連

1．用 n 次多项式作最小二乘拟合

一、外延生长用来生长薄层单晶材料，即薄膜 二、外延生长：在一定条件下，在单晶衬底上，生长一层合乎要求的单晶层的方法

一、概述 液晶显示器（LCD）特点： 优点：功耗低、平面、体轻、无辐射。 缺点：低温特性差（反应时间长）。 反应时间与液晶盒两端电压以及材料的粘 度有关，而二者又与温度有关。 在0度以下，反应时间会大大降低，使显示 迟缓

一、薄膜加工工艺 主要有蒸发、溅射和化学气相淀积。 1.蒸发 条件：真空度1.33X10-2 Pa以下，加热蒸发材料

透射电子显微镜成像时,电子束是透过样 品成像。由于电子束的穿透能力比较低, 用于透射电子显微镜分析的样品必须很薄 根据样品的原子序数大小不同,一般在 50~500nm之间。制备透射电子显微镜分析 样品的方法很多,这里介绍几种常用的制 样方法

一、中性 二、 角度、偏振 三、 带宽 四、 其它

由1/4波长厚度的高低折射率材料交替构 成的HLH…..LH型膜系，其导纳可以由其特 征矩阵较为容易的得到：