本章要点： 薄膜的内应力 薄膜的附着性能 附着类型 附着力的性质 影响薄膜附着力的工艺因素 薄膜附着力的测量 内应力的类别 内应力的成因 内应力的测量

传感器概述 金属温度传感器 热电偶 热敏电阻 霍尔传感器 磁阻传感器 电场测量探头 电涡流传感器 压电传感器 光电传感器 电容式传感器 电感式传感器 差动传感器与测量电桥

一、剔除数据中的“奇异项” 二、去除数据中的电平漂移 三、去除 / 提取趋势项 四、测量数据的平滑滤波

电感式传感器是利用被测量的变化引起线圈自感或互感系数的变化，从而导致线圈电感量改变这一物理现象来实现测量的。因此根据转换原理，电感式传感器可以分为自感式和互感式两大类

第一节 压电传感器的工作原理 第二节 压电传感器的测量转换电路

1、熟悉实验台上各类电源、测量仪表的布局及使用方法2、掌握电压表、电流表内电阻的测量方法3、熟悉常用电工仪表及设备的使用方法，包括万用表、电源、信号发生器、示波器、电压与电流表等等

第一节 电容式传感器的工作原理及结构形式 第二节 电容式传感器的测量转换电路 第三节 电容式传感器的应用

压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，例如力、压力、加速度等。压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。 6.1 基本原理分析 6.2 压电材料及压电元件的结构 6.3 测量电路 6.4 压电式传感器的应用

温度是表征物体冷热程度的物理量。它反 映物体内部各分子运动平均动能的大小。 温度可以利用物体的某些物理性质(电阻、 电势、等)随着温度变化的特征进行测量。 测量方法按作用原理分接触式和非接触式。 接触式传感器接触温度场,二者进行热交换。 (热电偶、热电阻温度传感器)

教学过程是极其复杂的认识过程,一般要从分析教学任务,确定学 生原有学习水平和明确教学目标开始,继而设计教学方法和实施教学活 动,最后对教学的结果进行测量和评估。如果测量的结果表明教学目标 已经达到,则可以认为,一个完整的教学过程已经完成;如果原定的教 学目标未能达到