化学气相沉积（PPT讲稿）Chemical Vapor Deposition（CVD）

第1节 特种加工 non-traditional machining 第2节 快速成形 rapid prototyping 1.1 概述 1.2 电火花成型加工 1.3 数控电火花线切割加工 1.4 电解加工 1.5 超声加工 1.6 激光加工 1.7 电子束和离子束加工 1.8 高压水射流加工 2.1 概述 2.2 立体光固化成形 2.3 叠层实体制造 2.4 熔融沉积成形 2.5 激光选区烧结 1.2 电火花成形加工

结合德国ＰＨＹＷＥ公司生产的Ｓｔｅｒｎ－Ｇｅｒｌａｃｈ实验仪，简述了Ｓｔｅｒｎ－Ｇｅｒｌａｃｈ实验的基本原理和内容设计；系统介绍了具体实验装置的组成部件和功能；考虑入射原子束的麦克斯韦速率分布后，理论分析了最终原子沉积束斑的形状；给出了典型的实验测量数据，讨论了测量曲线的偏差来源和进一步设想，评述了这一实验项目教学的意义．

2.1 真空热蒸发镀膜技术 2.1.1 真空热蒸发镀膜的原理 2.1.2 真空热蒸发镀膜的方式及特点 2.2 溅射镀膜技术 2.2.1 气体放电原理 2.2.2 溅射现象 2.2.3 溅射镀膜技术分类及特点 2.3 化学气相沉积技术 2.3.1 CVD原理 2.3.2 CVD技术种类及特点 2.4 光刻技术 2.4.1 光刻原理 2.4.2 光刻工艺概述 2.4.2 光刻胶 2.4.3 对位和曝光 2.4.4 显影 2.5 刻蚀 Eching 2.5.1 刻蚀工艺的品质因数 2.5.2 湿法刻蚀 2.5.3 干法刻蚀

§6～1 风化作用 §6～2 河流的侵蚀、搬运与沉积作用 §6～3 岩溶（喀斯特）作用 §6～4 斜坡与边坡地质作用 §6～5 海岸带地质作用

⚫物质循环的一般特点 ⚫水循环 ⚫气体型循环 ⚫沉积型循环 ⚫有毒有害物质循环

采用X-射线衍射(包括小角度衍射方法)研究了低温气相生长金刚石薄膜和单晶硅衬底之间的界面过度层。发现在较高温度下(700℃)过渡层为α-SiC,在较低沉积温度范围(580-290)℃过渡层则由α-SiC和SiO2所构成。对界面层中α-SiC和SiO2的晶体结构以及金刚石薄膜面间距进行了讨论

用热丝法研究了WC-6%Co硬质合金刀片金刚石薄膜涂层附着力。结果表明:采用温度为80℃,(HCl:HNO3:H2O)(体积比)为1:1:1溶液对硬质合金刀片表面去Co 15min后,经40μm金刚石粉及1.5μm金刚石加20μmTaC混合粉进行超声预处理,结果表明,沉积的金刚石薄膜与硬质合金刀片基底具有良好的附着力,而经40μm金刚石粉处理的薄膜涂层组织与附着力要好一些

电化学加工（Electrochemical Machining 简称ECM）包括从工件上去除金属的电解加工和向工件上沉积金属的电镀、涂覆加工两大类

应用实际工作状态的边界条件计算了金刚石膜中的热应力分布,并用实验手段进行了验证.结果认为,金刚石膜的热应力沿径向是不均匀的,中间的热应力要比边部的大,主要是压应力.这种很大的压应力,容易引起金刚石膜的炸裂