东莞理工学院：2022-2023第一学期《锂离子电池制造技术与原理》课程教学资源（教学大纲）教学大纲-19级化能学院选修同学-李超

一、钻孔 二、扩孔 三、铰孔

一、金属切削过程 1. 切屑的形成 2. 积屑瘤 二、切削力

一、铣削过程及特点 二、常用铣床

一、刀具切削部分的构成 二、刀具的静态角度

《工程科学学报》：金属增材制造技术的关键因素及发展方向

“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划

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通过本章学习，将能够： 1. 解释金属化； 2. 列出并描述在芯片制造中的6种金属，讨论它们的性能要求并给出每种金属的应用； 3. 解释在芯片制造过程中使用金属化的优点，描述应用铜的挑战； 4. 叙述溅射的优点和缺点； 5. 描述溅射的物理过程，讨论不同的溅射工具及其应用； 6. 描述金属CVD的优点和应用； 7. 解释铜电镀的基础； 8. 描述双大马士革法的工艺流程

Chapter 1 导论 Chapter 2 集成电路工艺介绍 Chapter 3 半导体基础 Chapter4 晶圆制造 Chapter 5 加热工艺 Chapter 6 光刻工艺 Chapter 7 等离子体的基础 Chapter 8 离子注入 Chapter 9 蚀刻 Chapter 11 金属化工艺