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压强低于一个标准大气压的稀薄气体空间称为真空.在真空状态下,由于气体稀薄, 分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减少,分子在一定时间内碰撞于固体表面上的 次数亦相对减少,这导致其有一系列新的物化特性,诸如热传导与对流小,氧化作用少, 气体污染小,汽化点低,高真空的绝缘性能好等等.真空技术是基本实验技术之一,真空 技术在近代尖端科学技术,如表面科学、薄膜技术、空间科学、高能粒子加速器、微电子 学、材料科学等工作中都占有关键的地位,在工业生产中也有日益广泛的应用. 薄膜技术在现代科学技术和工业生产中有着广泛的应用.
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1982年,IBM瑞士苏黎士实验室的葛宾尼(Gerd Binning)和海·罗雷尔(Heinrich Rohrer) 研制出世界上第一台扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,简称stm).stm 使人类第一次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态和与表面电子行为有关的物 化性质,在表面科学、材料科学、生命科学等领域的研究中有着重大的意义和广泛的应用 前景,被国际科学界公认为80年代世界十大科技成就之一.为表彰STM的发明者们对科 学研究的杰出贡献,1986年宾尼和罗雷尔被授予诺贝尔物理学奖. 与其它表面分析技术相比,STM具有如下独特的优点:
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