一、等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法

一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

一、 薄膜材料 二、 薄膜材料的应用 三、 薄膜技术所研究的内容 四、 薄膜材料与纳米技术 ◆ 气体分子运动论的基本概念 ◆ 真空获得的手段 ◆ 真空度的测量

一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力

一、炉膛安全监控系统的地位 大容量锅炉需要控制的燃烧设备数量比较多，有点火装 置、油燃烧器、煤粉燃烧器、辅助风(二次风)挡板、燃料风 (周界风)挡板等，不仅类型比较复杂，而且它们的操作过程 也很复杂。所以大容量锅炉的燃烧器必须采用自动顺序控制

随着电力工业的发展，高参数、大容量、单元 制的火力发电机组在电网中所占的比例越来越大。 所谓单元制就是由一台汽轮发电机组和一台锅 炉所组成的相对独立的运行系统。 单元制运行方式与以往的母管制运行方式相比， 机组的热力系统得到了简化，而且使蒸汽经过中间 再热处理成为可能，从而提高了机组的热效率

所谓通信，就是指采用某种特定的方法，通 过某种介质（如传输线）或渠道将信息从一处 传送到另一处的过程。由此可见，通信的含义 十分广泛，且对于不同的应用、不同的通信手 段，将会有不同的通信形式与类型

一. 过程控制设备的功能 过程控制设备是DCS最基层(直接控制级)的自动化设备

火力发电是现代电力生产中的一种主要生产形 式，对其生产过程实行有效的控制，是电力工业 中的一项基本任务

一、两权分离与代理问题 代理问题是指一个或一些人授权另一个或另一些人为他们的利益从事某些活动, 被授权者进行这些活动后获得一定的需求满足