压强低于一个标准大气压的稀薄气体空间称为真空.在真空状态下,由于气体稀薄, 分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减少,分子在一定时间内碰撞于固体表面上的 次数亦相对减少,这导致其有一系列新的物化特性,诸如热传导与对流小,氧化作用少, 气体污染小,汽化点低,高真空的绝缘性能好等等.真空技术是基本实验技术之一,真空 技术在近代尖端科学技术,如表面科学、薄膜技术、空间科学、高能粒子加速器、微电子 学、材料科学等工作中都占有关键的地位,在工业生产中也有日益广泛的应用. 薄膜技术在现代科学技术和工业生产中有着广泛的应用.