上海交通大学：《集成电路工艺原理》课程教学资源_Basic Properties of Silicon Crystals

《半导体工艺原理》课程教学课件（PPT讲稿）第2章 集成电路工艺介绍

《半导体工艺原理》课程教学课件（PPT讲稿）第2章 集成电路工艺介绍

Chapter 1 导论 Chapter 2 集成电路工艺介绍 Chapter 3 半导体基础 Chapter4 晶圆制造 Chapter 5 加热工艺 Chapter 6 光刻工艺 Chapter 7 等离子体的基础 Chapter 8 离子注入 Chapter 9 蚀刻 Chapter 11 金属化工艺

《电路分析基础》教学大纲 《电工原理》教学大纲 《电路分析基础》教学大纲 《电工技术》教学大纲 《电子技术》教学大纲 《电路与电子技术》教学大纲 《电工基础》教学大纲 《自动化检测与仪表》教学大纲 《微机原理与汇编语言》教学大纲 《单片机原理及接口》教学大纲 《自动控制原理》教学大纲 《离散控制系统》教学大纲 《现代控制理论》教学大纲 《微机原理及应用》教学大纲 《软件工程》教学大纲 《信号与系统》教学大纲 《计算方法》教学大纲 《工程力学》教学大纲 《统计力学》教学大纲 《半导体物理》教学大纲 《固体物理》教学大纲 《量子力学》教学大纲 《半导体物理实验》教学大纲 《现代控制理论》教学大纲 《单片机原理及接口》教学大纲 《电机与拖动基础》教学大纲 《计算机控制技术》教学大纲 《自动控制专业英语》教学大纲 《自动控制系统》教学大纲 《系统仿真技术》教学大纲 《集散控制系统》教学大纲 《电机学》教学大纲 《电力工程》教学大纲 《电力电子技术》教学大纲 《电气测试基础》教学大纲 《信号与系统》教学大纲 《自动控制专业英语》教学大纲 《集成电路工艺》教学大纲 《集成电路分析与设计》教学大纲 《集成电路实验》教学大纲 《超大规模集成电路 CAD》教学大纲 《集成电路课程设计》教学大纲 《电气控制设备》教学大纲 《电力系统分析》教学大纲 《电气测试技术》教学大纲 《半导体器件》教学大纲

集成电阻器 集成电容器 集成电路中的互连线

 集成电路的历史  集成电路的发展规律  等比例缩小原则  未来发展和挑战 2.1.1 集成电路加工的基本操作

第一部分 学科（专业类）教育课程 《电子信息类专业导论》 《工程制图》 《电路分析基础》 《模拟电子技术 A》 《数字电子技术 B》 《信号与系统》 第二部分 专业教育课程 《半导体物理与器件》 《模拟集成电路设计》 《数字集成电路设计》 《嵌入式原理与应用 A》 《数字后端设计》 《集成电路工艺原理》 《IC 模拟版图设计》 《集成电路封装与系统测试》 《集成电路封装技术基础》 《集成电路可靠性技术》 《集成电路先进封装技术》 《C++程序设计》 《MATLAB 基础与应用》 《单片机原理及应用 A》 《电磁场与电磁波》 《Phython 程序设计 B》 《工程项目管理》 《数字信号处理》 《高频电子线路》 《人工智能技术及应用》 《Linux 系统的应用与开发 B》 《传感器与检测技术 B》 《VLSI 设计基础》 《集成电路专业英语》 《EDA 技术及应用》 《数字图像处理技术》 《DSP 原理及应用》 《微系统集成技术》 《CMOS 射频集成电路设计》 《FPGA 设计与应用》 《文献检索与论文写作》 第三部分 应用创新实践环节课程 《工程训练 A》 《电工电子基础实训》 《电子工艺实习》 《集成电路认知实习》 《大学物理实验》 《模拟电子技术课程设计 A》 《数字电子技术课程设计》 《单片机原理及应用课程设计 B》 《模拟集成电路课程设计》 《数字集成电路课程设计》 《IC 模拟版图设计课程设计》 《集成电路可靠性技术课程设计》 《嵌入式原理与应用课程设计 A》 《职业资格考证》 《嵌入式系统创新实践》 《模数集成电路综合实训》 《集成电路设计与集成系统专业毕业实习》 《集成电路设计与集成系统专业毕业论文（设计）》

《硅微机械传感器》 《科研方法论》 《嵌入式系统设计》 《有限元方法及应用》 《专业英语》 《FPGA 设计及应用》 《半导体器件物理》 《电子技术基础及应用》 《固体物理学》 《集成电路 EDA》 《集成电路设计及应用》 《检测技术与系统设计》 《纳米材料与器件》 《声学基础》 《微电子工艺原理与仿真》 《文献阅读与学术写作》 《现代数字信号处理》 《移动互联网应用及开发》 《薄膜材料及技术》 《VLSI 数字集成电路基础》 《半导体光电子学》 《材料表征与检测》 《电子功能材料与元器件》 《集成电路版图设计》 《拉曼光谱学》 《微波器件与电路》 《半导体器件建模与仿真实训》 《传感器设计实训》 《高等模拟集成电路分析与设计》 《工程项目及创新实践》 《集成电路工程设计实训》 《数模混合信号集成电路设计实训》 《微电子器件》 《压电学》 《智能传感器系统设计》 《MEMS 传感器》 《传感器技术及应用》 《水声换能器及阵列技术》 《代数学》 《多元统计分析》 《泛函分析》 《非参数统计》 《高等概率论》 《高等数理统计学》 《孤子与可积系统》 《矩阵理论及其应用》 《科学计算》 《偏微分方程》 《人工智能理论》 《数值逼近》 《数值代数》 《算法分析与程序设计》 《微分方程数值解》 《微分几何》 《现代密码学》 《现代统计计算方法》 《最优化理论与方法》 《高等工程数学》

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