1.1 薄膜的定义 1.2 薄膜的特性 1.3 薄膜技术与薄膜材料受到广泛关注的原因 1.4 薄膜的分类 1、电功能膜: 如绝缘膜、半导体膜、导电膜和压电膜等。 2、磁功能膜: 如磁记录膜、巨磁电阻膜、隧道磁阻薄膜、磁光等 3、光功能膜: 包括光敏膜、光记录膜、光反射膜、光分离膜。 4、分离膜: 包括气体分离膜、液体分离膜、气-液分离膜。 5、催化膜: 这类膜具有化学功能,包括催化膜、反应膜。 6、气敏膜: 这类膜对不同的气体,例如:CO2、NH3、CH4等有不同的敏感性。 1.5 薄膜材料与技术所研究的问题