一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、 未来的纳米光刻技术

一、离子镀方法的原理和特点 二、 各种各样的离子镀方法 三、 其他制备薄膜的PVD方法

• 腐蚀速率 • 极化 • 混合电位理论 • 腐蚀极化图及其应用 • 极化曲线 • 极化控制下的腐蚀动力学方程 • 腐蚀的阳极反应与阴极反应 • 均匀腐蚀动力学与局部腐蚀动力学

2.4 析氢腐蚀和吸氧腐蚀 2.4.1 腐蚀电池的电极过程 2.4.2 析氢腐蚀 2.4.3 吸氧腐蚀 2.5 金属的钝化 1.钝化现象 2.金属钝化的特性曲线 3.金属的自钝化 4.钝化理论

1. 引言 2. 腐蚀的定义 3. 腐蚀与防护研究的意义 腐蚀与防护研究的意义 4. 腐蚀科学的发展 腐蚀科学的发展 5. 腐蚀的分类 6. 腐蚀防护的基本途径 腐蚀防护的基本途径 7. 腐蚀科学及防护技术的主要内容 腐蚀科学及防护技术的主要内容 2.1 电化学腐蚀与腐蚀电池 2.2 电化学腐蚀热力学

一、 等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法

一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

一、离子镀方法的原理和特点 二、各种各样的离子镀方法 三、其他制备薄膜的PVD方法

一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力

一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ，通过阅读文献和其他的相关材料，达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的