对于中规模、大规模和某些VLSI的IC，前面介绍的基本光刻工艺完全适用，然而 ，对于ULSI/VLSI IC 这些基本工艺已经明显力不能及。在亚微米工艺时代，某些光刻工艺在0.3µm以下明显显示出它的局限性。存在地问题主要包括：光学设备的物理局限；光刻胶分辨率的限制；晶园表面的反射现象和高低不平现象等

5.1 主要工艺指标 5.2 电参数对工艺指标的影响 5.3 非电参数对工艺指标的影响 5.4 合理选择电火花线切割加工工艺 5.5 习题

第一节 塑性成形基础 第二节 自由锻 1、金属塑性变形的实质 2、塑性变形后金属的组织和性能 3、锻造比 4、金属的锻造性能 1、自由锻工序 2、自由锻工艺规程的制订 塑性成形及其种类 第三节 模锻 1、模锻的特点与应用 2、锤上模锻 3、胎模锻 4、压力机上的模锻 第四节 板料冲压 1、板料冲压的特点和应用 2、板料冲压的基本工序 1、自由锻件的结构工艺性 2、模锻件的结构工艺性 3、板料冲压结构工艺性 第五节 锻压件结 构工艺性

4,1水处理工艺流程概论 1,水处理工艺流程的概念 由于单一的水处理单元方法是难以满足要求,所以将多种基本单元过程互相配合,组成一个水处理工艺过程,称为水处理工艺流程。 选择水处理流程的基本出发点是: (1)以较低的成本、安全稳定的运行过程; (2)获得满足水质要求的水; (3)水处理设施所在的地区气候、地形地质、技术经济条件的差异,也会影响到水处理工艺流程的选择

一、生产过程和工艺过程 产品的生产过程是指把原材料变为成品的全过程。机械产品的生产过程一般包括： 1 ．生产与技术的准备 如工艺设计和专用工艺装备的设计和制造、生产计划的编制、生产资料的准备等； 2 ．毛坯的制造 如铸造、锻造、冲压等；

1. 微生物发酵与制药 2. 微生物生长与生产的关系 3. 制药微生物生产菌种建立 4. 培养基制备 5. 灭菌工艺 6. 发酵培养技术 7. 发酵工艺过程的控制 8. 抗生素的生产工艺

介绍了全氧熔融气化炉直接还原新工艺的工艺流程及其特点,并对解决该工艺流程中几个关键技术问题所采取的措施及工艺方案的可行性,作了分析和说明

按破煤方式不同,采煤工艺大致可分为两大类:一类为传统的爆破落煤工艺(现仅在少数地方煤矿使用);另一类为连续采煤机采煤工艺(发展方向)。连续采煤机采煤工艺按运煤方式的不同可分为两种工艺系统:连续采煤机—梭车工艺系统;连续采煤机—输送机工艺系统

4,1水处理工艺流程概论 1,水处理工艺流程的概念 由于单一的水处理单元方法是难以满足要求,所以将多种基本单元过程互相配合,组成一个水处理工艺过程,称为水处理工艺流程。 选择水处理流程的基本出发点是: (1)以较低的成本、安全稳定的运行过程; (2)获得满足水质要求的水; (3)水处理设施所在的地区气候、地形地质、技术经济条件的差异,也会影响到水处理工艺流程的选择

2.3塑件的工艺性 一、塑件的工艺性——是塑件对成型加工的适应性 二、塑件工艺性设计包括:塑料材料选择、尺寸精度和表面粗糙度、塑件结构