一、引言 二、基本原理; 三、PDF卡片 四、PDF卡片索引 五、分析方法 六、物相定量分析

❖ 第一节 电子光学基础 ❖ 第二节 电子与固体物质的相互作用 ❖第三节 透射电镜（TEM） ❖第四节 扫描电镜 ❖第五节 电子探针(Electron Micro￾probe Analysis, EMPA or EPMA) 第六节 扫描隧道显微镜 (STM) 第七节 原子力显微镜 (AFM) 第八节 电子显微镜分析在材料研究中的应用 ❖ 一、形态、精度的分析 ❖ 二、元素的存在状态分析 ❖ 三、玻璃的非晶态结构分析 ❖ 四、材料断面的研究 ❖ 五、晶界（微观研究） ❖ 六、微区结构分析 ❖ 七、高分子材料的研究

任何一种晶体材料的点阵常数都与它所处的状 态有关。 当外界条件(如温度、压力)以及化学成分、 内应力等发生变化,点阵常数都会随之改变。 这种点阵常数变化是很小的,通常在10-5nm量级。 精确测定这些变化对研究材料的相变、固溶体 含量及分解、晶体热膨胀系数、内应力、晶体 缺陷等诸多问题非常有作用。所以精确测定点 阵常数的工作有时是十分必要的

第一章半导体材料导电型号、电阻率、少数载流子寿命的测量 第二章化学腐蚀一光学方法检测晶体缺陷和晶向 第三章霍尔系数、迁移率和杂质补偿度的测量 第四章外延片的物理测试 第五章红外吸收光谱在半导体测试技术中的应用 第六章扫描电子显微镜及其在半导体测试技术中的应用 第七章透射电子显微镜晶体缺陷分析 第八章Ⅹ射线在半导体测试技术中的应用 第九章结电容和CV测试技术 第十章半导体中痕量杂质分析

苏州大学：能源学院《材料分析测试方法实验》课程教学大纲

实验一 金相样品的制备 实验二 铁碳合金的平衡组织 实验三 钢铁材料的非平衡组织 实验四 其它常用金属材料的显微组织 实验五 金属的硬度与冲击 实验六 碳钢的热处理 实验七 金属材料综合实验

苏州大学：能源学院《材料分析与测试方法实验》课程教学大纲

苏州大学：能源学院《材料分析与测试方法》课程教学大纲

扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM )之后发展起来的一种电子显微镜 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或 透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照 明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描 方式照射到试样上,产生各种与试样性质有 关的信息,然后加以收集和处理从而获得微 观形貌放大像

一、概述 二、薄膜样品的制备 三、衍衬成象原理 四、相位衬度简介