苏州大学：能源学院《纳米科学与技术》课程教学大纲

一、薄膜材料 二、薄膜材料的应用 三、薄膜技术所研究的内容 四、薄膜材料与纳米技术

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

一、气体的放电现象与等离子体 二、物质的溅射效应和溅射产额 三、各种各样的溅射技术

一、 气体的放电现象与等离子体 二、 物质的溅射效应和溅射产额 三、各种各样的溅射技术

《辽宁工程技术大学学报(自然科学版)》：纳米混凝土声发射Kaiser效应的试验与数值模拟

一、 薄膜材料 二、 薄膜材料的应用 三、 薄膜技术所研究的内容 四、 薄膜材料与纳米技术 ◆ 气体分子运动论的基本概念 ◆ 真空获得的手段 ◆ 真空度的测量