复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第七章 光子学薄膜、光学镀膜材料、光学薄膜制备的厚度监控

• 10.1 成膜技术 • 10.2 导电薄膜 • 10.3 光学薄膜 • 10.4 磁性薄膜

17.3光程薄膜干涉 一、光程 光在真空中的速度c=1u1 光在介质中的速度u=1ucn

§16.1 光矢量 光程 §16.2 光的干涉现象 相干光 §16.3 双缝干涉 §16.4 薄膜的等倾干涉 §16.5 薄膜的等厚干涉 §16.6 迈克耳逊干涉仪 §16.7 光源的相干性

以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶-凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性、厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶-凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅

采用微波等离子体CVD两段式低温沉积技术,在700~400℃温度范围内沉积了红外增透性良好的金刚石薄膜,结果表明,采用高甲烷浓度可以实现较低沉积温度下的高密度形核,获得光学平整的金刚石薄膜,施加直流偏压的方法在低温下对金刚石形核的促进作用不明显,实验观测到的最大增透率达20%,最大红外透射率接近80%,可满足不同气氛下金刚石容器的应用

高等教育出版社：《物理学教程》教材电子教案（PPT课件，马文蔚第二版）第十四章 波动光学 14-3 薄膜干涉

《普通物理学》课程教学资源（PPT课件）第十二章 几何光学 12-5 薄膜干涉

江苏大学：《大学物理》课程教学资源（PPT课件）第十二章 光学 12.5 薄膜干涉

一、光程 1、光在真空中的速度 2、光在介质中的速度