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河南大学：《微机电系统设计与应用》课程教学资源（教学大纲）Design and Application for MEMS

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Joseph Ford, James Walker, Keith Goossen References: “Silicon modulator based on mechanically-active antireflection layer with 1 Mbit/sec capability” K. Goossen, J. Walker and S. Arney, IEEE Photonics Tech. Lett. 6, p.1119, 1994

Microelectronics Processing technology Fall Term 2003 Instructions for the microfluidics Lab report Your lab report should follow the format of the IEEE Electron Device Letters. The format from the IC and mEMs Lab reports will be used Contents: Your Letter should include the following sections y-line(Author, affiliation, and submission date)