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关于MEMS技术，学习学习，不错。

关键字：MEMS 电子通信 Modulator

北京科技大学材料科学学院：薄膜材料（唐伟忠）[材料]

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膜的图形化技术（NXPowerLite）.ppt第九讲MEMS技术（NXPowerLite）.ppt

关键字：北京科技大学薄膜材料唐伟忠真空溅射技术离子镀薄膜 MEMS

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