北京科技大学《薄膜材料》课件，参考书： 《薄膜材料制备原理、技术及应用》冶金出版社，1998年5月第一版，2003年1月第二版； 第一讲 引言及真空技术基础 （NXPowerLite）.ppt 第二讲 真空蒸镀技术 （NXPowerLite）.ppt 第三讲 溅射技术 （NXPowerLite）.ppt 第四讲 离子镀及其他PVD方法 （NXPowerLite）.ppt 第五讲 CVD技术 （NXPowerLite）.ppt 第六讲 等离子体辅助CVD技术 （NXPowerLite）.ppt 第七讲 薄膜材料的组织结构 （NXPowerLite）.ppt 第八讲 薄膜的图形化技术 （NXPowerLite）.ppt 第九讲 MEMS技术 （NXPowerLite）.ppt