北京科技大学《薄膜材料》课件，参考书： 《薄膜材料制备原理、技术及应用》冶金出版社，1998年5月第一版，2003年1月第二版； 第一讲 引言及真空技术基础 （NXPowerLite）.ppt 第二讲 真空蒸镀技术 （NXPowerLite）.ppt 第三讲 溅射技术 （NXPowerLite）.ppt 第四讲 离子镀及其他PVD方法 （NXPowerLite）.ppt 第五讲 CVD技术 （NXPowerLite）.ppt 第六讲 等离子体辅助CVD技术 （NXPowerLite）.ppt 第七讲 薄膜材料的组织结构 （NXPowerLite）.ppt 第八讲 薄膜的图形化技术 （NXPowerLite）.ppt 第九讲 MEMS技术 （NXPowerLite）.ppt

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、 未来的纳米光刻技术

一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ，通过阅读文献和其他的相关材料，达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的