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北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第八讲 薄膜的图形化技术（主讲：唐伟忠）
文档格式：PPT 文档大小：1.22MB 文档页数：50
一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术
北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第八讲 薄膜材料的图形化 Patterning of thin films（主讲：唐伟忠）
文档格式：PPT 文档大小：1.3MB 文档页数：51
一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、 未来的纳米光刻技术
北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》关于实验（主讲：唐伟忠）
文档格式：PPT 文档大小：412KB 文档页数：7
一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ，通过阅读文献和其他的相关材料，达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的
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