课件说明:
北京科技大学《薄膜材料》课件,参考书:
《薄膜材料制备原理、技术及应用》冶金出版社,1998年5月第一版,2003年1月第二版;
第一讲 引言及真空技术基础 (NXPowerLite).ppt
第二讲 真空蒸镀技术 (NXPowerLite).ppt
第三讲 溅射技术 (NXPowerLite).ppt
第四讲 离子镀及其他PVD方法 (NXPowerLite).ppt
第五讲 CVD技术 (NXPowerLite).ppt
第六讲 等离子体辅助CVD技术 (NXPowerLite).ppt
第七讲 薄膜材料的组织结构 (NXPowerLite).ppt
第八讲 薄膜的图形化技术 (NXPowerLite).ppt
第九讲 MEMS技术 (NXPowerLite).ppt