x射线发展史: 1895年德国物理学家伦琴在研究阴极射线时发现了X射线 (1901年获得首届诺贝尔奖) 1912年,德国的Laue第一次成功地进行X射线通过晶体发生衍 射的实验,验证了晶体的点阵结构理论。并确定了著名的晶体 衍射劳埃方程式

采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积的方法成功地在Si(100)衬底上制备了Y2O3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线光电子能谱(XRP)对薄膜进行了表征.SEM分析结果显示,薄膜的颗粒为纳米级的,并且薄膜致密、平整.AFM分析结果表明,薄膜的粗糙度为11nm.由XPS分析可知,薄膜为基本上符合化学计量比的氧化物.附着力测试表明,Y2O3薄膜与Si衬底的附着力为4.2N.X射线衍射分析结果表明,沉积得到的Y2O3薄膜在热处理前为非晶结构,热处理之后薄膜具有立方晶体结构,并且沿(111)面择优生长

采用X-射线衍射(包括小角度衍射方法)研究了低温气相生长金刚石薄膜和单晶硅衬底之间的界面过度层。发现在较高温度下(700℃)过渡层为α-SiC,在较低沉积温度范围(580-290)℃过渡层则由α-SiC和SiO2所构成。对界面层中α-SiC和SiO2的晶体结构以及金刚石薄膜面间距进行了讨论

一、X射线的获得 1895年伦琴(Roentgen)发现故称为伦琴射线 波长范围:10埃~0.01埃 欲观察其衍射现象 则衍射线度应与其波长差不多 晶体的晶格常数恰是这样的线度

第一节 X射线的发生与性质 第二节 晶体结构

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1885年伦琴发现,受高速电子撞击的金属会发射种穿透性很强的射线称Ⅹ射线

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