一、利用能源：电能、电化学能、光能及声能等； 二、工具材料：硬度可以比工件材料的硬度低； 三、切削力：加工时一般没有明显的切削力； 四、切削速度：加工去除工件材料的速度比切削加工低

一、概述 表面SiO2的简单实现,是硅材料被广泛应用的一个重要因素。本章中,将介绍SiO2的 生长工艺及用途、氧化反应的不同方法,其中 包括快速热氧化工艺。另外,还简单介绍本工 艺中最重要的部分--反应炉,因为它是氧化 、扩散、热处理及化学气相淀积反应的基本设 备

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