在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件 性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍 洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的 清洗工艺等 5.2污染类型 微粒金属离子化学物质细菌 ·微粒器件对污染物的敏感度取决于特征图形的 尺寸和晶体表面沉积层的厚度。由于特征图形尺 寸越来越小,膜层厚度越来越薄,所允许存在的 微粒尺寸也必须控制在更小的尺度上

我国茶园辽阔,茶叶生产历史悠久,制茶经验丰富。劳动人民在长期的生产斗争中 创制了形质优异的各种茶叶,尤为绿茶最多。 特种绿茶作为绿茶的一类,其制作工艺虽然也分为三步:杀青一揉捻一干燥。但是由 于不同的炒制方法,不同加工工艺及其做形,形成了许多品质出类拔萃,别具一格,外形 内质各不相同的名茶 论形状:有的卷曲成螺,有的浑圆如宝珠,有的扁平直,毛尖呈细紧光直

概述 硅表面SiO2的简单实现,是硅材料被广泛 应用的一个重要因素。本章中,将介绍SiO2的 生长工艺及用途、氧化反应的不同方法,其中 包括快速热氧化工艺。另外,还简单介绍本工 艺中最重要的部分--反应炉,因为它是氧化 、扩散、热处理及化学气相淀积反应的基本设 备

绪论 一、畜牧场生产工艺与畜舍设计的课程性质与任务 二、畜牧场与畜牧生产三、我国畜牧场建设的现状和发展趋势 四、畜牧场设计的基本原则五、本课程与其他学科的关系 六、《畜牧场生产工艺与畜舍设计》的研究方法

第一章 钳工 第二章 机械加工 第三章 数控加工 第四章 特种加工 第一章 钢 第二章 铸 铁 第三章 铝及铝合金 铜及铜合金 第一章 热处理基础知识 第二章 表面改性热处理 第三章 常规热处理

5.1概述 在这一章中,将解释污染对器件工艺、器件性能和器件可靠性的影响,以及芯片生产区域存 在的污染类型和主要的污染源。同时也简要介绍洁净室规划、主要的污染控制方法和晶片表面的清洗工艺等

一、概述 表面SiO2的简单实现,是硅材料被广泛应用的一个重要因素。本章中,将介绍SiO2的 生长工艺及用途、氧化反应的不同方法,其中 包括快速热氧化工艺。另外,还简单介绍本工 艺中最重要的部分--反应炉,因为它是氧化 、扩散、热处理及化学气相淀积反应的基本设 备

2.6压注模塑成型工艺 一、压注成型原理 在压缩成型基础上发展起来的一种热固性塑料的成型方法,又称传递成型、挤胶成型

2.3.1 设计内容 2.3.2 铸造方法和造型方法选择 2.3.3 浇注位置及分型面的选择 ２.3.４ 铸造工艺参数的选定 2.3.5铸造工艺设计示例

3.3.1 自由锻工艺设计 3.3.2 锤模锻工艺设计 3.3.3 冲压工艺设计（自学）