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北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》关于实验(主讲:唐伟忠)
文档格式:PPT 文档大小:412KB 文档页数:7
一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ,通过阅读文献和其他的相关材料,达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第五讲 薄膜材料制备的CVD方法 Preparation of thin films by CVD methods
文档格式:PPT 文档大小:706.5KB 文档页数:74
一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第五讲 薄膜材料制备的CVD方法 Preparation of thin films by CVD methods
文档格式:PPT 文档大小:523KB 文档页数:73
一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第二讲 薄膜材料制备的真空蒸发法 Preparation of thin films by vacuum evaporation
文档格式:PPT 文档大小:326KB 文档页数:56
一、元素的热蒸发 二、 化合物与合金的热蒸发 三、蒸发沉积薄膜的均匀性 四、制备薄膜材料的各种蒸发方法
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第二讲 薄膜材料制备的真空蒸发法 Preparation of thin films by vacuum evaporation
文档格式:PPT 文档大小:611.5KB 文档页数:56
一、元素的热蒸发 二、化合物与合金的热蒸发 三、蒸发沉积薄膜的均匀性 四、制备薄膜材料的各种蒸发方法
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第四讲 薄膜材料制备的离子镀及其他PVD方法 Preparation of thin films by ion plating and other PVD methods
文档格式:PPT 文档大小:496.5KB 文档页数:53
一、离子镀方法的原理和特点 二、各种各样的离子镀方法 三、其他制备薄膜的PVD方法
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第六讲 薄膜材料制备的等离子体辅助CVD方法 Preparation of thin films by plasma enhanced CVD process
文档格式:PPT 文档大小:576.5KB 文档页数:38
一、 等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第四讲 薄膜材料制备的离子镀及其他PVD方法 Preparation of thin films by ion plating and other PVD methods
文档格式:PPT 文档大小:588KB 文档页数:54
一、离子镀方法的原理和特点 二、 各种各样的离子镀方法 三、 其他制备薄膜的PVD方法
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第七讲 薄膜材料的微观组织 Microstructures of thin films
文档格式:PPT 文档大小:841.5KB 文档页数:112
一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力
北京科技大学材料科学学院:《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第六讲 薄膜材料制备的等离子体辅助CVD方法 Preparation of thin films by plasma enhanced CVD process
文档格式:PPT 文档大小:432KB 文档页数:37
一、等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法
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