本章将讨论薄膜淀积的原理、过程和所需的设备，重点讨论SiO2和Si3N4等绝缘材料薄膜以及多晶硅的淀积。 通过本章的学习，将能够： 1. 描述出多层金属化。叙述并解释薄膜生长的三个阶段。 2. 提供对不同薄膜淀积技术的慨况。 3. 列举并描述化学气相淀积（CVD）反应的8个基本步骤，包括不同类型的化学反应。 4. 描述CVD反应如何受限制，解释反应动力学以及CVD薄膜掺杂的效应。 5. 描述不同类型的CVD淀积系统，解释设备的功能。讨论某种特定工具对薄膜应用的优点和局限。 6. 解释绝缘材料对芯片制造技术的重要性，给出应用的例子。 7. 讨论外延技术和三种不同的外延淀积方法。 8. 解释旋涂绝缘介质

第一章 绪论 第二章 光分析法导论 第三章 原子发射光谱法 第四章 原子吸收光谱法 第五章 紫外—可见吸收光谱法 第六章 红外吸收光谱法 第七章 分子发光分析法 第八章 核磁共振波谱法 第九章 其他光谱法 第十章 质谱分析法 第十一章 电化学分析法导论 第十二章 点位分析及离子选择性电极分析法 第十三章 极谱与伏安分析法 第十四章 其他电化学分析法 第十五章 分离分析法导论 第十六章 气相色谱法 第十七章 高效液相色谱法 第十八章 其他分离分析法

1适用范围 本方法适用于饮用水、地下水和中度污染的地表水中酚类污染物的测定。包括苯酚、2 一甲基苯酚、3一甲基苯酚、4甲基苯酚、2,4一二甲基苯酚、4一乙基苯酚、2,6一双(1,1 二甲基乙基)4甲基苯酚、2—苯基苯酚、2基酚、2苄基4甲基苯酚、2一氯苯 酚、3一氯苯酚、4一氯苯酚、4一氯2一甲基苯酚、4一氯3一甲基苯酚、6一氯一3一甲基 苯酚、2,4一二氯一3,5一二甲基苯酚、2一氯一4一叔丁基苯酚、2环戊基4氯苯酚、4 氯2一苄基苯酚、6一氯一5一甲基—2—(1一甲基乙基)苯酚、2,3一二氯苯酚、2,4一二氯 苯酚、2,5一二氯苯酚、2,6一二氯苯酚、2,46一三氯苯酚、2,3,5三氯苯酚、2,4,5三氯苯酚、 2,3,6一三氯苯酚、2,3,4,5四氯苯酚、2,,4,6四氯苯酚、2,3,5,6一四氯苯酚、五氯苯酚

吹脱和汽提都属于气液相转移分离法。即将气体(载气)通入废水中,使之相互充分接 触,使废水中的溶解气体和易挥发的溶质穿过气液界面,向气相转移,从而达到脱除污染物 的目的。常用空气或水蒸气作载气,习惯上把前者称为吹脱法,后者称为汽提法。 水和废水中有时会含有溶解气体。例如用石灰石中和含硫酸废水时产生大量CO2;水在软 化脱盐过程中经过氢离子交换器,产生大量O2;某些工业废水中含有H2S,HCN、NH3、CS 及挥发性有机物等。这些物质可能对系统产生侵蚀或者本身有害,或对后续处理不利,因 此,必须分离除去。产生的废气根据其浓度高低,可直接排放、送锅炉燃烧或回收利用

1.1 概述 1.2 固、液、气各相性质 1.3 相界面性质与可浮性 1.4 气泡的矿化过程 1.5 浮选动力学

第一节 催化及固体催化剂 第二节化学吸附与气-固相催化反应本征动力学模型 第三节 气-固相催化反应的宏观过程 第四节 催化剂颗粒内气体的扩散 第五节 内扩散有效因子 第六节 气-固相间热、质传递过程对总体速率的影响 第七节 固体催化剂的失活

第一节 气-固相催化反应的宏观过程 第二节 催化剂颗粒内气体的扩散

在多孔催化剂上进行的气固相催化反应,由反应物在位于催化剂 内表面的活性位上的化学吸附、活化吸附态组分进行化学反应和 产物的脱附三个连串步骤组成,因此,气固相催化反应本征动力 学的基础是化学吸附

§2.1 气－固相催化反应的宏观过程 §2.2 催化剂颗粒内气体的扩散

河北科技大学：《化学反应工程》课程教学资源（PPT课件）第二章 气-固相催化反应宏观动力学 第一节 气-固相催化反应的宏观过程 第二节 催化剂颗粒内气体的扩散