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以一种特定成分的有机硅为原料,采用溶胶-凝胶法,在硅基片上制备出用于光波导器件的薄膜.通过折射率和厚度测试及XPS成分测试验证了此薄膜具有较好的均匀性、厚度和光学特性,满足光波导器件的要求.分析了溶胶-凝胶法中常见的龟裂现象的原因以及采预防方法.利用这种薄膜结合微电子加工工艺制备出光波导器件阵列波导光栅

控制电机:在自动控制系统中作为检测、放大和 执行功能,其功率都较小;其工作原理与前面所 叙述的电机的原理一样,只是在性能上的要求不 同;对控制电动机的要求主要有:运行可靠、响 应快、精确度高等;控制电机的种类非常之多

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一、意义 1、 具有绿色化的化学反应，原子经济性。 催化加氢一般生成产物和水，不会生成其它副产物（副反应除外），具有很好 的原子经济性。绿色化学是当今科研和生产的世界潮流，我国已在重大科研项目研 究的立项上向这个方向倾斜

一、常用控制电器的动作原理及其控制作用 二、鼠笼式三相异步电动机典型控制电路的工作原理