了解小型实验研究工作的目的、任务和研究方法以及对化工工艺流程放大的影响；学会运用化学反应工程的理论认识对象的特征，并利用对象的特征设计合理的研究方案；掌握通过生产实践形成工程与工艺相结合的思维方法，通过在生产实践中遇到的工程问题的特殊性简化实验

在传统氧化工艺的基础上,结合低温湿氧二次氧化退火制作4H-SiCMOS电容.通过I-V测试,结合Fowler-Nordheim(F-N)隧道电流模型分析了氧化膜质量;使用Terman法计算了SiO2/SiC界面态密度;通过XPS测试对采取不同工艺的器件界面结构进行了对比.在该工艺下获得的氧化膜击穿场强为10MV·cm-1,SiC/SiO2势垒高度2.46eV,同时SiO2/SiC的界面性能明显改善,界面态密度达到了1011eV-1·cm-2量级,已经达到了制作器件的可靠性要求

第一篇 切削加工 第一章 金属切削加工的基本原理 第二章 金属切削机床基本知识 第三章 光整加工和特种加工 第四章 典型表面加工方法分析 第五章 机械加工工艺设计 第二篇 工程材料基础 第一章 工程材料的主要性能 第二章 金属材料基础知识 第三章 钢的热处理 第三篇 铸造 第一章 铸造工艺基础 第二章 常用铸造合金 第三章 特种铸造 第四章 铸造工艺设计 第四篇 压力加工与粉末冶金 第一章 金属锻造工艺的基本原理 第二章 压力加工方法 第三章 锻造工艺设计 第四章 板料冲压 第五篇 焊接与粘接 第一章 焊接的基本原理 第二章 常用焊接方法 第三章 常用金属材料的焊接 第四章 焊接结构设计 焊接概述 第六篇 材料与毛坯的选择及毛坯质量 第二章 材料的选择 第三章 毛坯的选择

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