上海交通大学：《能源材料——原理与应用》课程教学资源（课件讲稿）03 能源材料化学基础（材料制备技术——粉体、薄膜、块体）

一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

一、离子镀方法的原理和特点 二、 各种各样的离子镀方法 三、 其他制备薄膜的PVD方法

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、 未来的纳米光刻技术

一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、离子镀方法的原理和特点 二、各种各样的离子镀方法 三、其他制备薄膜的PVD方法

中国科学技术大学：《现代薄膜技术》课程教学资源（PPT课件）第三章 真空技术

一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

曲阜师范大学：新能源材料与器件专业《薄膜材料与技术》课程教学大纲