一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ，通过阅读文献和其他的相关材料，达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的

一、等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法

一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

一、 薄膜材料 二、 薄膜材料的应用 三、 薄膜技术所研究的内容 四、 薄膜材料与纳米技术 ◆ 气体分子运动论的基本概念 ◆ 真空获得的手段 ◆ 真空度的测量

一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力

一、炉膛安全监控系统的地位 大容量锅炉需要控制的燃烧设备数量比较多，有点火装 置、油燃烧器、煤粉燃烧器、辅助风(二次风)挡板、燃料风 (周界风)挡板等，不仅类型比较复杂，而且它们的操作过程 也很复杂。所以大容量锅炉的燃烧器必须采用自动顺序控制

随着电力工业的发展，高参数、大容量、单元 制的火力发电机组在电网中所占的比例越来越大。 所谓单元制就是由一台汽轮发电机组和一台锅 炉所组成的相对独立的运行系统。 单元制运行方式与以往的母管制运行方式相比， 机组的热力系统得到了简化，而且使蒸汽经过中间 再热处理成为可能，从而提高了机组的热效率

所谓通信，就是指采用某种特定的方法，通 过某种介质（如传输线）或渠道将信息从一处 传送到另一处的过程。由此可见，通信的含义 十分广泛，且对于不同的应用、不同的通信手 段，将会有不同的通信形式与类型

一. 过程控制设备的功能 过程控制设备是DCS最基层(直接控制级)的自动化设备

火力发电是现代电力生产中的一种主要生产形 式，对其生产过程实行有效的控制，是电力工业 中的一项基本任务