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• 第一节 概述 一、工艺流程设计的作用 二、工艺流程设计的任务 三、工艺流程设计的基本程序 四、工艺流程设计的成果 • 第二节 工艺流程设计技术 一、工艺流程设计中的方案比较 二、以单元操作或单元反应为中心，完善工艺流程 三、工艺流程设计中应考虑的技术问题 • 第三节 工艺流程图 一、工艺流程框图 二、工艺流程示意图 三、物料流程图 四、带控制点的工艺流程图

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一、薄膜制备工艺 二、光刻工艺 三、刻蚀工艺（Etch Process） 四、掺杂工艺 五、氧化工艺 六、其它工艺 • CMP(chemical mechanical planarization) • SOI (silicon on insulator) • 铜互连 • 硅片键合与背面腐蚀技术 • 注氧隔离技术(SIMOX) • 智能剥离技术