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本章将讨论薄膜淀积的原理、过程和所需的设备,重点讨论SiO2和Si3N4等绝缘材料薄膜以及多晶硅的淀积。 通过本章的学习,将能够: 1. 描述出多层金属化。叙述并解释薄膜生长的三个阶段。 2. 提供对不同薄膜淀积技术的慨况。 3. 列举并描述化学气相淀积(CVD)反应的8个基本步骤,包括不同类型的化学反应。 4. 描述CVD反应如何受限制,解释反应动力学以及CVD薄膜掺杂的效应。 5. 描述不同类型的CVD淀积系统,解释设备的功能。讨论某种特定工具对薄膜应用的优点和局限。 6. 解释绝缘材料对芯片制造技术的重要性,给出应用的例子。 7. 讨论外延技术和三种不同的外延淀积方法。 8. 解释旋涂绝缘介质
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北京大学:《分析化学 Analytical Chemistry》课程教学资源(PPT课件讲稿)第五章 氧化还原滴定法 5.1 氧化还原反应的方向和程度 5.2 氧化还原反应的速率 5.3 氧化还原滴定
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《建筑结构抗震》课程授课教案(讲义)第三章 结构地震反应分析与抗震验算 3.8 结构非弹性地震反应分析
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《建筑结构抗震》课程授课教案(讲义)第三章 结构地震反应分析与抗震验算 3.6 竖向地震作用 3.7 结构平扭耦合地震反应与双向水平地震影响
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《建筑结构抗震》课程授课教案(讲义)第三章 结构地震反应分析与抗震验算 3.4 多自由度弹性体系的地震反应分析 3.5 多质点弹性体系的水平地震作用
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5.1 氧化还原反应的方向和程度 5.2 氧化还原反应的速率
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生物过程反应原理_生物过程反应原理2/2
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§1.1化学反应工程学的范畴和任务 §1.2化学反应工程研究方法 §1.3反应工程的学科系统和编排
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第一节氧化还原反应的基本概念、第二节氧化还原反应与原电池、第三节电极电势
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一、完成下列反应: 二、写出下列反应主要产物
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