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一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置
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一、离子镀方法的原理和特点 二、各种各样的离子镀方法 三、其他制备薄膜的PVD方法
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一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力
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一、实验目的 每位同学以自己选择的英文文献为线索 ,通过阅读文献和其他的相关材料,达到较 深入地了解薄膜材料制备技术领域某一具体 课题的目的
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一、等离子体的一般性质 二、等离子体辅助CVD的机理和特点 三、等离子体辅助的CVD方法
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一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置
文档格式:PPT 文档大小:3.15MB 文档页数:79
一、 薄膜材料 二、 薄膜材料的应用 三、 薄膜技术所研究的内容 四、 薄膜材料与纳米技术 ◆ 气体分子运动论的基本概念 ◆ 真空获得的手段 ◆ 真空度的测量
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一、薄膜的形核理论 二、连续薄膜的形成 三、薄膜微观结构的形成 四、非晶薄膜、薄膜织构和外延薄膜 五、薄膜的应力和附着力
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1. 3D 实体模型 (Solid model) 将使用者的设计概念以最真实的模型在计算机上呈现出来 随时计算出产品之体积、面积、质心、重量、惯性矩等 − 用以了解品之真实性 − 并补足传统面架构、线架构之不足
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概论 基准 (Datum) 为特征之一种 基准之主要用途:建立 3D 几何设计时之参考资料 − 例如:一个孔特征可以一轴线当成其中心线,此轴线可作为孔半径 标注之基准,亦可建立相对于孔轴线之其它特征 基准可分为:基准面 (Datum plane)、轴线 (Datum axis)
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