复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第七章 光子学薄膜、光学镀膜材料、光学薄膜制备的厚度监控

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_激光与光电子学进展2009 对微纳光子学发展的一些战略思考

• 光学器件的冷加工基本工艺 • 光学器件的技术要求与工艺特点 • 粗磨、铣磨、精磨、抛光等主要工艺 • 光学辅料 • 其它重要工艺

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第五章 光子学无源器件简介

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第三章 从光子学器件物理基础到光有源器件

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》教学课件_第六章 光学材料简介

复旦大学：《光子学器件与工艺 Photonics Devices and Technology》文献资料_激光与光电子学进展2009 隐身技术的研究进展

一、薄膜制备工艺 二、光刻工艺 三、刻蚀工艺（Etch Process） 四、掺杂工艺 五、氧化工艺 六、其它工艺 • CMP(chemical mechanical planarization) • SOI (silicon on insulator) • 铜互连 • 硅片键合与背面腐蚀技术 • 注氧隔离技术(SIMOX) • 智能剥离技术

§1 国际及部分国家标准化组织简介 §2 WTO对标准化工作的要求 §3 发达国家技术标准研究发展战略 §4 我国的现状与机会

从光电子与微电子相似的发展规律出发,阐述微电子对于信息技术的重要作用以及对发展光电子产业的启迪。正确把握光电子与微电子相互促进、相互依存、并行发展的客观规律。信息的需求量仍呈指数增长，必须保持清醒的头脑，“机遇与挑战并存”对发展光电子与信息产业上更具现实意义