河源职业技术学院 标准 气体质量流量控制器通用技术条件

人中国工业气体两 电037-B507 ■ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10583-94 气体质量流量控制器通用技术条件 General specification for gas mass flow controller 1994-08-08发布 1994-12-01实施 中华人民共和国电子工业部发布

L 98 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 SJ1T 10583一94 气体质量流量控制器通用技术条件 General specification for gas mass flow controller 1994-08-08发布 1994-12-01实施 中华人民共和国电子工业部 发 布 电话：0378-3850378

中华人民共和田电子行业标准 气体质量流量控制器通用技术条件 S/T105B3-4 1主器内容与适用范墨 本经准规定了气体质量流量拉制器的找术要求。试的方法，检验规则及标去，包装，运缩。 62 2写引用5准 】术语，粹号 一量程值 为 气体图度0 25P3 -投12.35分5：m1CCM,2sCCM.3M5. 中华人民共和国电子工业相194-0308社泄 194-1201实s 1

中华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 气体质量流量控制器通用技术条件 General specification for gas mass flow controller SJ/T 10583-94 飞 主题内容与适用范围 本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、 贮存 。 本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器(以下简 称控制器)。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等 部门 。 弓1用标准 CUB 191 包装储运图示标志 己B 6388 、运输包装收发货标志 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 SJ 37 电子工业专用设备型号命名方法 SJ/T 电子工业专用设备可靠性指标验证考核试验方法 术语、符 号 :一; F·S (full scale) 满量程值 质量流量 mass flow 单位时间内流过某截面的流体的质量数。 气体质量流量用标准状态下的体积流盘来表示。气体质量流量单位如下: 标准状态ml/min(SCCM); 标准状态 I/min(SLM ). a. 阮 标准状态规定为: 气体楹度:。℃; 气 压!101325Pa. 3.3 流量范围 ranges 同一型号控制器所包括的最小至最大的流量规格的范围。控制器的流量规格通常用它的 满量程值来表示. 流量规格一般按1,2,3,5分档，如10尽CCM, 20SCCM, 3SLM , SSLM等。 中华人民共和国电子工业部 1994-08-08批准 1994-12-01实施 一 1 一

sJ/T10583-94 3.4准聘度&ccuracy 控制器滑量程的流量示值与标准器测量的满量程实际值之荒与满量程实际值相比的百分 比值， 腔制器的准确度仅指在标准标定条件下的流量标定的误差值。 3.5线性linearity 量程内各点的实际流量值座标相对零列满流量程实际蔺量值座标连接直线的最大偏离程 度，用相对满量程的实际莲量的第差的百分比表示， 3.6重复精度repeatability 在福度，气压等环境条件不变的情况下，控制器的同一示值的实测藏量的升降变差相对满 量程实测流置的百分比值。 37利应时间response time 当设定值发生阶跃变化后，气体范量限随设定值改变，通过一段时间后达到相对最后稳寄 值的误差花围之内时，这段时间序为响应时问。 响皮时同分电特性和气特性，气特性又分为控制器局事气特性和大气容系统气特性两种， 3.B工作压力花图operating preasure cac 能保证空创翘在全量程范亚内正g德定工华的最小到题大能入口气压（包条人口与出口 之周的气压降》， 3.9压力系数pressuire c0 efficient 在流量示值不变的情况下，实际流量随工作气压变化的改变量相对标定的满量程实际流 量的百分数与气压改变量之比， 3.10漏气率leak integrity 单位时闻内的氢气腰希量。 单位：标准状卷ml/s氢(SCCS He) 3.11滋度系数 3.11.1零点葛度系数temperature coefficient on sero 在工作超度范围内，置量检测电压随碧度改变的零点票移量相对满量程流量检测电压的 百分数与变化游度差值之比， 3.11.2灵敏度组度系数temperature coefficient on span 在工作组度范图内，藏量示值不变的情况下，演量程实际流垂随温度政变而发生的变化量 相对因度变化前的满量程实际流量的百分数与变化盟度整值之比： 3.12电压您定性voltage regulation 在控制器处干稳定的条件下，输出的流质检测电压的变化量与满量程流量检测电压之百 分比。 4产品分类 ·4,1按蔬量范国可分为四类： ,小流量：小于等于5SLM: b.中流量，1030SLM1 c。中小流量，介子中，小流重范困： d.大流量，大于30SLM, 一2-

SJ/T 10583-94 3.4 准确度 accuracy 控制器满量程的流量示值与标准器测量的满量程实际值之差与满量程实际值相比的百分 比值。 控制器的准确度仅指在标准标定条件下的流量标定的误差值。 3.5 线性 linearity 量程内各点的实际流量值座标相对零到满流量程实际流量值座标连接直线的最大偏离程 度，用相对满量程的实际流量的偏差的百分比表示。 3.6 重复精度 repeatability 在温度、气压等环境条件不变的情况下，控制器的同一示值的实测流量的升降变差相对满 量程实测流量的百分比值。 3.7 响应时间 response time 当设定值发生阶跃变化后，气体流量跟随设定值改变，通过一段时间后达到相对最后稳态 值的误差范围之内时，这段时间称为响应时间。 响应时间分电特性和气特性，气特性又分为控制器局部气特性和大气容系统气特性两种. 3.8 工作压力范围 oneraY..}g, pressure ra;。 能保证生制器在全量程范困内正含稳定工作的最小到最大淤 \口气压/芭枯入口一与出口 之间的气压降)。 3.9 压力系数 pressure coefficient 在流量示值不变的情况下，实际流量随工作气压变化的改变量相对标定的满量程实际流 量的百分数与气压改变量之比。 3.10 漏气率 leak integrity 单位时间内的氦气泄漏量。 单位:标准状态 ml/s 氦 CSCCS He) 3.11 温度系数 3.11.1 零点温度系数 temperature coefficient on zero 在工作温度范围内，流量检测电压随温度改变的零点漂移量相对满量程流量检测电压的 百分数与变化温度差值之比。 3.11.2 灵敏度温度系数 temperature coefficient on span 弃工作温度范围内，流量示值不变的情况下，满量程实际流it随温度改变而发生的变化量 相对温度变化前的满量程实际流量的百分数与变化温度差值之比。 3.12 电压稳定性 voltage regulation 在控制器处于稳定的条件下，输出的流量检测电压的变化量与满量程流量检测电压之百 分 比。 产品分类 按流量范围可分为四类: ;小于等于SSLM ; ,10^-30SLM ; 中小流量:介子中、小流量范围; 大流量:大于 30SLM, a. b. c. d， 2 一

sJ/T10583-94 4.2校控制阀的种类可分为回大类： 。压电阀式： b.热您胀阀式： c.电磁调节阀式： 。其它国节阁式（包括步进电机和同服电机等）， 4,3质量南量控制器的产品型号参照S引37命名，书写格式如下， 0?-早早口P早/口只型 金业代号 A一Z改型特狂（可省略） 01的设计序亏 腔制阀种类：1.压电周：2.热稀 张阀3.电磁调节阀，4其它。 流餐范国分类：1，小直量，2，中流 量：品中小汽重心：大雀量， 部标分类品发」 例：质量流量控制器D07一3301AZM蜜. 5技术要求 5.1一般要求 5.1.1外观要求 黑，外观应平整，光滑，无划爽和销生现象，幢徐层不得脱落： b.金属表工光洁 飞.各种标记清晰无误， 51.2结构要求 。.结构合理，便于安装、拆鲫和维修， ,电路部分封闭隔离，防止乐境腐使， 51.3外形尺寸 控制器的外形和接管尺寸应按附桑A(补充件)规定的数帮选择， 52技术性能要求 52.1流量范国 南量范国按慰3.3来和4.1条， 5.2.2准确度 根据不同精度要求选探如下指标 .土1%F·31 b.士2%F·8. 52.3线性 根绍不同精度要求遗择如下指标： m士0.5%F·1 b.±1%F·si c±2%F·5, 3

SJi'T 10583- 94 4.2 按控制阀的种类可分为四大类: a. 压电阀式; b. 热膨胀阀式; c 电磁调节阀式; d. 其它调节阀式(包括步进电机和伺服电机等). 4.3 质童流童控制器的产品型号参照SJ 37命名，书写格式如一「; 口 型 !一 口 - 口 甲 匕 口 广 .L 口 ︸ 口 丁 JI D-rI L 企业代兮 A-Z改型特征(可省路) 01一99 设计序号 控制阀种类:1.压电阀12.热膨 胀阀;3.电磁调节阀;4.其它. 流量范围分类11.小流量;2.中流 量;3.中小流盘 灸大流蚤. 部标分类价弓 例:质量流量控制器D07-3301A/ZM M. 5 技术要求 5.1 一般要求 5.1.1 外观要求 a 外观应平整、光滑、无划yl}和锈蚀现象，镀涂层不得脱落。 b. 金属表面光洁。 c. 各种标记清晰无误。 5.1.2 结构要求 a. 结构合理，便于安装、拆卸和维修; b. 电路部分封闭隔离，防止环境腐蚀。 5.1.3 外形尺寸 控制器的外形和接管尺寸应按附录A(补充件)规定的数据选择。 5.2 技术性能要求 5.2.1 流量范围 AIt范围按照 3.3条和 4.1条。 5.2.2 准确度 根据不同精度要求选择如下指标: a. 士1 0/a F·s; b. 士2%F·:。 5-2.3 线性 根据不同精度要求选择如下指标: a. 士0. 5%F·s; b。 士1%F·s; c. 土2%F·s. 一 3 一

sJ/T10583-94 524重复精度 根居不同精度要求透样如下指标： a±0.2%F·s1 6.士0.5%F*s. 52,5响应时间 最低要求：小干30s到达稳多值的士5⅓F·以内1 最高要求：小于1：到达稳态值的士2%F·s以内， 各型号产品应在技术说明书中分别给出电特性和气特性的响应时间指标，若仅给出一个 指标，刚应理解为是气特性的响应时司指标，如果没有注明到达稳老值的相对溪差范图，则应 理解为是到达静态值的土5%F·:以内”， 5.26工作压力花围 工作区力花围为，0.05-0.3MPa. 5.27压力系数 压力系数为：士1.5%F·8/MPa, 52.8粗度系数 根据不同精度赞求造择如下指标： .土0.05%F·5/℃： b.士0.1%F·s/℃： c±0.2%F·s/℃. 若无梅殊注明应既包括零点酒度系数又包括灵敏度盟度系数， 52.9设定电压 设定电压为：0一+5.00Va: 5.2.10魔量检测输出电玉 祇量检测输出电压为，0一十5V。: 5.2.11电压位定性 根堰不同精度要求选拜如下指标： 高.士0.05%F·51 6士0.25%F·m c土0.5%f·s, 5.2.12工作电深电压 根据不问的使用要求，迹择如下指标： .15V4士2%1 b.15Va±5%， 53环境条件要求 5.31控制器长期工作条件 意品度6一45℃， b,相对显度40一0%. 53.2控制释贮运环境盘度 控制器贮运环境温发为：一40+60℃， 54可靠性要求 一4一

SJ/T 10583- 94 524 重复精度 根据不同精度要求选择如下指标: a 士0.2%F·s; b. 士0.5肠F·s. 52} 5 响应时间 最低要求:小于 30s到达稳态值的士5%F一 以内; 最高要求:小于 is到达稳态值的士2%F-s以内. 各型号产品应在技术说明书中分别给出电特性和气特性的响应时间指标。若仅给出一个 指标，则应理解为是气特性的响应时间指标。如果没有注明到达德态值的相对误差范围，则应 理解为是“到达称态值的士5uoF一 以内”。 5.2.6 工作压力范围 工作压力范围为:0. 05^0. 3MPa. 5.2.7 压力系数 压力系数为:士1. 5%F·s/MPa. 5.2.8 温度系数 根据不同精度要求选择如下指标: a. 士0.05%F，s/'c; b. 士0.1%F·s/'C; c. 士0. 2%F.s/℃, 若无特殊注明应既包括零点沮度系数又包括灵敏度温度系数. 5.2.9 设定电压 设定电压为:。一+5. OOV.. 5.2.10 流量检翻输出电压 流量检测输出电压为:0一十5V.. 5.2.11 电压稳定性 根据不同梢度要求选择如下指标: a. 士0.05KF·5t b. 士0.25%F·8t c 士0.5%F·s. 5.2.12 工作电源电压 根据不同的使用要求，选择如下指标: a. 15V‘士tout b. 15V‘士5%. 53 环境条件要求 5.3.1 控制器长期工作条件 a. 温度 5-45'C; b. 相对湿度 40^-6000. 53.2 控制器贮运环境温度 控制器贮运环境温度为:一40^-+60'C . 5.4 可靠性要求 一 4 一

sJ/T10583-94 控制器应具有较高的可暴性，根据不同的使用要果，规定以下三个等级指标， 。,m1>15000h b.m,>5000h: e,m,>2000h, 5.5安全要求 55.1耐气压 根据不同使用要求：选拜如下指标： a.10MPar b.3MPa: e.IMPa. 5.5.2密封福气率 根据不同使用要求，遗拜如下指标： a.1X10-'sccs He b.1X10-'sces He; e1×10-secs He. 55.3材料耐蚀性 控制鞋通道与工作气体接触部分的材料，均应选用耐蚀村料。用于特殊痛蚀性气体时，应 分别采用相应的耐使材料。 56运输试验要求 产品的包装箱及被包装产品，经长逢运输后（行车不少于100km),包装箱不横坏，不变 形，被包装产品完好， 6试验方法 控制器在测试时空与相适应的流量显示电源查配套使用， 6.1一般要求检查 目测控制器外双，表面和结构，用量具测外形尺寸应符合5.1条的要求。 6.2技术性能要求测试 62.1流量花国润试 62.1.1用皂膜流量计（或钟罩）的标定方祛 按因1，将气源与减压器串接到控制器入口，出口接至皂测流量计即可进行测试。 图1 采用皂藻流量计标定时，必须将容积流量换算为质量藏重，即换算为标准状态下的容积发 量Q。,计算公式如下： -5

SJ/T 10583-94 控制器应具有较高的可靠性，根据不同的使用要求，规定以下三个等级指标。 a. m,> 15000hi b. m> 5000h= c. m> 2000h. 5.5 安全要求 5.5.1 耐气压 根据不同使用要求，选择如下指标: a. 1OMPa; b. 3MPa, c. 1MPa. 5.5.2 密封漏气率 根据不同使用要求，选择如下指标: a. 1 X 10-0sccs He; b. 1 X 10-'sccs He: c. 1 X 10-0sccs He. 5.5.3 材料耐蚀性 控制器通道与工作气体接触部分的材料，均应选用耐蚀材料。用于特殊腐蚀性气体时.应 分别采用相应的耐蚀材料。 5.6 运输试验要求 产品的包装箱及被包装产品，经长途运输后(行车不少于 100km )，包装箱不损坏、不变 形，被包装产品完好。 6 试验方法 控制器在测试时应与相适应的流量显示电源盒配套使用. 6.， 一般要求检查 目测控制器外观、表面和结构，用量具测外形尺寸应符合 5.1条的要求。 6.2 技术性能要求测试 6.2.1 流量范围测试 62.1.1 用皂膜流量计(或钟覃)的标定方法 按图 1，将气源与减压器串接到控制器入口，出口接至皂膜流量计即可进行测试。 卞 - 鹅 越 衅 图 1 采用皂膜流量计标定时，必须将容积流量换算为质量流量。即换算为标准状态下的容积流 量Q。，计算公式如下: 一 5 —

sJ/T10583-94 0=vF.心P2 T 式中，V一皂渊藏量计玻璃管上两标线之闯的容积，l, T。一标准状多的置度，273.15K, P,一标准状老的压强，101325Pa1 T一管内气体的福度（近似取室五），K, P一管内气体的压强(G近触取宽内气压)，P1 P一管内气体的水塞汽压（难以确定，因而通常忽略》，P: t一皂瀛通过装璃管上两标线之闻的时间，mn, 6.2.1.2控制器与标准质量流量计市联的标定方法 气源 标准计 MFC 气源 MFC 标准计 图2 标在质量流量计（简称“标在计）的准确度不低于士1%F·,重复精度不低于 士0,2%F·s,线性不低于士0.5%F·5, 按图2，将标准计与被测控制器(MF℃)气路串联，连接管道要尽可能短，各连接都位气密 性符合要求后，即可直接进行测量. 6.2.1.3标定程序 .先在低气压下（如Q,05MP)进行满量程测试： b.在高气压下（如0.3MP)进行满量程测试， c在中间气压下（如0.15MPa)进行准精度和线性的五点标定，测试七个数据，设定点 分别为满量程的0%，25%，50%，75%，100%，设定100%后，再返回测50%.0%两点。 记录上述，b,©中全都数据，供有关误差的计算， 6.2,1.4骑定流量规格 根据低，高、中气压三次闺得的满量程流量费认控制器的冀量规格， 6.2.2准确度的计算 用在中间气压下的100%设定点测得实际流量后，控制鞋准确度按下式计算： a-9s。9u×100% 式中：a一被测控制答准确度， Q.s一被测控制器满量程示值流量，SCCM: Q:一演量程实际流置（标准计测量值），SCCM, 6.2.3线性的测量 根据6,21.3C条测试的五点数据，即设定点比例为0%、25%、50%、75%.100%时的实 际汽量值，按下式分别算出各点的线性偏差，取偏离最大的值做该机的线性误装位。 1-鸟。0×100% Qa4 6

SJ/T 10583-94 * _， T 材 o导 V . 石 二 . J尸。 (P 一 Pd) T : 式中:V— 皂膜流量计玻璃管上两标线之间的容积，ml; Ta— 标准状态的沮度，273.15K; Pa- 标准状态的压强，101325Pa; T- 管内气体的温度(近似取室温),K; 尸— 管内气体的压强(近似取室内气压),Pa; Pd— 管内气体的水燕汽压(难以确定，因而通常忽略),Pa; t- 皂膜通过玻璃管上两标线之间的时间，min, 6.2.1.2 控制器与标准质t 流最计 串联 的标定方法 一气源卜 _I v准计一 一气源{ 一IMFC{ 图 2 标准质蛋流 量计 (简称“标准 计”)的 准确度不低 于士1%F " s，重复精 度不低 于 士0. 2 /ao F " a,线性不低于士0. 5%F " s, 按图2，将标准计与被测控制器(MFC)气路申联，连接管道要尽可能短，各连接部位气密 性符合要求后，即可直接进行测盈. 6.2.1.3 标定程序 a. 先在低气压下(如 0. 05MPa)进行满量程测试， b. 在高气压下(如 0. 3MPa )进行满量程测试; c. 在中间气压下(如 0. 15MPa )进行准确度和线性的五点标定.侧试七个数据，设定点 分别为满f程的 0a/o,25%,50%,75a/o,100ao，设定 1000a后，再返回侧 50yo,0%两点。 记录上述a,b,。中全部数据，供有关误差的计算. 6.2.1.4 确定流量规格 根据低、高、中气压三次测得的满量程流童确认控制器的流t规格。 6.2.2 准确度的计算 用在中间气压下的 100%设定点测得实际流量后，控制器准确度按下式计算: QF"S一 QoF"a Q.F"5 x 100% ..............................(2) 式中:Q— 被测控制器准确度; QF"s— 被测控制器满是程示值流量,SCCM 7 QOF" s- 满量程实际流童(标准计测量值),SCCM. 6.2-3 线性的测量 根据 6. 2. 1. 3C条测试的五点数据，即设定点比例为 。%,25%,50%,75%,100写时的实 际流量值，按下式分别算出各点的线性偏差，取偏离最大的值做该机的线性误差值。 Q.一 nQ}.s QOF-3 X 100% ·····················“一 (3) 一 6 一

5J/T10583-94 式中：一一被测控削器线性 Q。—一各点实际黄量，SCCM: 一各点的设定此例。 62.4重复精度的测量 根据&.2.1,3C条测试的两次50%设定点的实际花量Qa与Qa,按下式计算， f-二×100% 444444444444444(4） 式中：f一控制器重复精度： Qm一50%设定点第一次实测流量，SCCM: Qa一50%设定点第二次实酒重量，SCCM, 62.5有应时阀测试 设定值的阶跃变化方式规定从以下三种中确定一种进行测试。 =从40%F·s到60%F·8,再从60%F·s到40%F·5: b,从50%F·s到100%F·,再从100%F·a到50%F·1 c从0到100%F·8,或从0到10%F·8以上各选定点. 各产品应在说明书或技术条件中指定一种设定值的阶氏变化方式， 62.5.1电特性响应时间测试 将控制器的流量检测电压接到XY记录仅（现敏度不低于50mv/mm)的Y轴上，以时阿 为X魔标，记录鹿量检湘电压随设定电压阶跃变化的响应衡线，即可根器定义请定电特性有 应时间。 62.5.2气特性利应时间测试 。控制局部气特性用转子测量齿（戒皂测量法）测试。 图3 选棒一个量程适当的标有精密斯度的转子流量计（或皂腻流量计），直接用短管连接在控 制器出口（见国3），遂接管的气容和气阻应尽量小。工作时将转子的变化过程用录像方法记录 下来，再进行分断计算，即可测得控制器自身在出口的局部气流响应特性。在利应时间较长的 情祝下，也可采用目测和秒表计时的方法润量。 山，大气客系统气特性用双转子测量法测试， 如果用户的反应室有较大的气客，并要求MFC与反应室系统连接后的响应特性要快，这 时可以用双转子测量法来横拟测试 一7

SJ/T 10583-94 式中:I— 被侧控制器线性， 嗽— 各点实际流量,SCCM, 二— 各点的设定比例. 6.2.4 重复精度的侧f 根据6. 2. 1. 3C条测试的两次50%设定点的实际流f Qa,与QN,按下式计算: Qa:一Qo7 Q。，.: X 100% .................................(4) 式中:f- 控制器重复精度， Qm- 50%设定点第一次实测流f ,SCCM = Qu=- 50%设定点第二次实测流f ,SCCM . 6.2.5 响应时间侧试 设定值的阶跃变化方式规定从以下三种中确定一种进行测试。 s. 从40%F·s到 60写F"s，再从 60写F·s到40%F·:， b. 从 50%F·:到 100%F。。，再从 100%F。。到 500oF " s; c. 从。到 100%F·。，或从。到10%F·:以上各选定点. 各产品应在说明书或技术条件中指定一种设定值的阶跃变化方式。 6.25.1 电特性响应时间测试 将控制器的流量检测电压接到 XY记录仪(灵敏度不低于 50mv/mm)的Y轴上，以时间 为X座标，记录流蚤检测电压随设定电压阶跃变化的响应曲线，即可根据定义确定电特性响 应时间。 6.2.5.2 气特性响应时间测试 e 控制器局部气特性用转子侧f法(或皂膜测it法)测试。 老 ， 艇 十 脚 图 3 选择一个it程适当的标有精密刻度的转子流量计(或皂膜流童计)，直接用短管连接在控 制器出口(见图3)，连接管的气容和气阻应尽量小.工作时将转子的变化过程用录像方法记录 下来，再进行分析计算，即可测得控制器自身在出口的局部气流响应特性。在响应时间较长的 情况下，也可采用冶测和秒表计时的方法测量. b. 大气容系统气特性用双转子测量法测试。 如果用户的反应室有较大的气容，并要求MFC与乓应室系统连接后的响应特性要快，这 时可以用双转子测量法来模拟测试。 — 7 —

sJ/T10583-94 气容 图4 如图4的方法连接，从上的转子U可以观靠到MFC局廊气特性，从下游转子D可以观寒 到大气容聚统气特性，然后按如下原则来判断控削器的响应特性：在规定的时间内，上游转子 的稀后不超过要求的误差范国，而下静转子的过冲不超过要求的误整花罪，则可判定该控制 器达到府应时何指标， ©，转子测量法（或皂膜测量法）和双转子测量法，两种方法测量的气特往，原则上可以任 选一种做为判定标准， 风夏求软启动产品，必領用转子测量法判别，以动作平参，无过冲为主要要求。 62.6工作压力花围测试 在6,21,3条中所测得的低气压和高气压，能达月控制料技术指标的气压范国时即为该 控制督的工作压力花国， 62.7压力系数测试 利用5.2,1,3条中淘得的低气压和高气压下的满量程流量值进行计算： 月-9-8=·×10% 44*4444444(5) 式中：一控制器压力系数1 Q一高气压（如0.3MP:)下的满量程实测流量，SCCM, Q一低气压（如O.05MPa)下的演量程实测流量SCCM+ △P一一气压变化差值，MP, 62.8祖度系数测试 6.2.81零点温度系数测试 在室温下开机调零后，将控制器故入片箱（或高低盟试整箱）中，不通气缓慢升温至5℃， 存8度平衡后，丹4乞位数字电玉表，测量瓷激检洲电压的不点淘飘后，用下式计算， 4-岩·守×100% 式中一控制露零点温度系数： 4V一零点酒颗电压，V, Vm:1一满量程流量检湖电压，5.00V, △T一升温前后的温差，℃， 62,82灵敏度温度系数测试 将被递控制器申联在标准流量计后面，适当如长管道，将被测控制器改入然箱中，通气升 温：面量尖际流量的变化，按下式计算： 一8一

sJ/T 10583- 94 止望 如图4的方法连接，从上游转子U可以观察到MFC局部气特性，从下游转子D可以观鑫 到大气容系统气特性。然后按如下原则来判断控制器的响应特性:在规定的时间内，上游转子 的滞后不超过要求的误差范围，，而下游转子的过冲不超过要求的误差范围，则可判定该控制 器达到响应时间指标。 c. 转子测量法(或皂膜测量法)和双转子测盘法，两种方法测里的气特性，原则上可以任 选一种做为判定标准. d. 要求软启动产品，必须用转子测量法判别，以动作平稳、无过冲为主要要求。 62.6 工作压力范围测试 在 6.2.1.3条中所测得的低气压和高气压，能达到控制器技术指标的气压范围时即为该 控制器的工作压力范围。 6.2.7 压力系数测试 利用 6.2.1.3条中测得的低气压和高气压下的满量程流量值进行计算: Qp.二一Q,m. Q.F.s 寿x 100% ..............................(5) 式中:R- 控制器压力系数; Q-— 高气压(如。. 3MPa)下的满量程实测流量，SCCM; Qom.— 低气压(如 。. 05MPa)下的满盈程实测流量，SCCM; △尸— 气压变化差值，MPa. 6.2.8 温度系数测试 6.2.8.1 零点温度系数测试 在室温下开机调零后，将控制器放入烘箱(或高低温试验箱)中，不通气缓慢升温至451C, 待，度平衡后，用4专位数字电压表，，量Silko，电压的零点。飘后，用下式计算: AV a = 二，二上 ，一 二 X 100% .................................(6) Tons △T·、‘一/。 式中:ao— 控制器零点温度系数; dVa- 零点温飘电压，V; 一 Voe.s- 满量程流量检测电压，5. 00V, AT— 升温前后的温差，℃. 62.8.2 灵敏度温度系数测试 将被测控制器串联在标准流量计后面，适当加长管道，将被测控制器放入烘箱中，通气升 ia.测量实际流量的变化。按下式计算: 一 8 一

sJ/T10583-94 4-。0·×10% Q 44中年4+(7) 式中：a一控制器灵散度温度系数， Q一开始温度（室阻时）的实测汽量，SCCM: Q,—一温度改变后(45C时)的实测流量，SCCM: T一升盖前后的福差，℃， 62.9设定电压、莲量检测输出电任，电压稳定性、工作电源电压测试 分别按529.5210,5.211,5212条的要求，用情度不低于Q.03%的4位数字三 用表御食， 63环境条件要求试雅 63.1将控制器放入高低温试较箱（一40℃一+60℃），按图5所示程序进行温度循环试装， 图度变化速率不大于20℃/h. 60C 50 45e 40 20 200 20 40 2 区时间 图5出度第环试验时序国 63.2分别在20℃，5℃，45℃三个图度阶梯上进行电雾电压试验，电压从220V分割国到 198V和242V(使用1kW湖压养)，各保持15min后，记录学点派移值，程察电压稳定性，应满 足“5.2.11集指标，通气检查电压稳定性时，应按“6.21.3a”,62.1.3b”条要求同时改变气 翠压力， 633,测试应在温置平衡后进行，平衡时间不少于1h,在0℃和50℃祖度阶梯记录零点深 移，并检查能否调到零。在开如20℃时的测试精度和在结束时20℃的测试精度，允许经过调 整，准确度符合“5.2.2”条要求， 6.4可京性试验 9

s,1 /T 10583- 94 R-1·一 Q。 1 Ro 乙了 X 100% ....… … “二‘................ (7) 式中:a, 控制器灵敏度温度系数; Ro— 开始温度(室温时)的实测恤量，SCCM ; QT - 温度改变后(45℃时)的实测流量，SCCM; dT一 升腻前后的温差，℃。 6.2.9 设定电压、流量检测输出电压、电压稳定性、工作电源电压测试 分另，按5.2.9,5.2.10,5.2.11,5.2.12条的要求，用精度不低于。.03、的4音位数字三 用表测量。 6.3 环境条件要求试验 6.3.1 将控制器放入高低温试验箱(-40℃一十60*c )，按图5所示程序进行温度循环试验， .温度变化速率不大于20'C/h. 图 5 温度循环试验时序图 6.3.2 分别在20'C , 5'C , 45'C.三个温度阶梯上进行电源电压试验.电压从 220V分别调到 198V和242V(使用1kW调压器)，各保持15min后，谬录零点探移值，观察电压稳定性，应满 足"5.2. 11”条指标。通气检查电压稳定性时，应按“6. 2. 1. 3a","6.2.1.36”条要求同时改变气 源压力 。 6.3.3 测试应在温度平衡后进行，平衡时间不少于 1h。在 。℃和 50'C温度阶梯记录零点漂 移，并检查能否调到零。在开始 20℃时的测试精度和在结束时 20℃的测试精度，允许经过调 整，准确度符合“5. 2. 2"条要求。 64 可靠性试验 — 9 —