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上海交通大学:《材料组织结构表征》课程教学资源(课件讲义)电子衍射原理

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电子衍射 ◆电子衍射与X射线衍射的异同 ◆电子衍射与成像模式 ◆电子衍射几何条件 ◆电子衍射原理(晶带轴定律/偏移 矢量/相机常数) ◆多晶体衍射花样标定

电子衍射 ◆电子衍射与X射线衍射的异同 ◆电子衍射与成像模式 ◆电子衍射几何条件 ◆电子衍射原理(晶带轴定律/偏移 矢量/相机常数) ◆多晶体衍射花样标定

概述--电子衍射 入射电子束照射到试样上,试样中满足布拉格方程 的平行晶面组发出的衍射线为一平行电子束,与 入射方向夹角为20,即试样中平行晶面发出的衍 射束为一平行线,经透射镜必聚集于一点,为该平 行晶面的衍射斑点.其与入射线20=0的透射波被 物镜会于聚轴线上,于是物镜背焦面上形成样品 晶体的衍射花样. 操作:中间镜物平面与物镜焦平面重合,投影镜 物平面与中间镜像平面重合放大. 用途:晶体结构、物相分析

概述---电子衍射 入射电子束照射到试样上,试样中满足布拉格方程 的平行晶面组发出的衍射线为一平行电子束,与 入射方向夹角为2θ,即试样中平行晶面发出的衍 射束为一平行线,经透射镜必聚集于一点,为该平 行晶面的衍射斑点.其与入射线2θ=0的透射波被 物镜会于聚轴线上,于是物镜背焦面上形成样品 晶体的衍射花样. 操作: 中间镜物平面与物镜焦平面重合,投影镜 物平面与中间镜像平面重合放大. 用途: 晶体结构、物相分析

入射束 (hk1) 试样 20 20 物镜 20 后焦面 象平面 衍射花样形成示意图

2q 2q 2q 入射束 试样 物镜 后焦面 象平面 衍射花样形成示意图

Modes in EM 成像:中间镜的物平面与物镜的像平面重合 衍射:中间镜的物平面与物镜的背焦面重合 Electron beam 改变中间镜电流 Objective lens Objective aperture (back focal plane) Fixed (diffraction pattern) SAD aperture Intermediate image 1 Voltage (kV) 2(nm) ←Strength→ Intermediate lens 40 0.00601 change 100 0.00370 200 0.00251 Intermediate Intermediate diffraction image 2 300 0.00223 pattern Projector lens X-ray 0.1542 Fixed (Cu-K) strength www.globalsino.com/EM/ Diffraction Final pattern Screen image 4 (a) (b)

Modes in EM 4 Voltage (kV)  (nm) 40 0.00601 100 0.00370 200 0.00251 300 0.00223 X-ray 0.1542 (Cu-K ) 成像:中间镜的物平面与物镜的像平面重合 衍射:中间镜的物平面与物镜的背焦面重合 改变中间镜电流

电子衍射花样的分类 单晶花样 平行入射束与单晶作用产生斑点状花样;主 要用于确定第二象、李晶、有序化、调幅 结构、取向关系、成象衍射条件。 多晶花样:同心圆环 织构样品:弧状花样 非晶花样:晕环 多晶衍射环对应于是晶面族hk的衍射,而单晶 衍射斑点对应的是晶面组hk个)的衍射,故单晶电 子衍射花样在结构分析中更具重要性

电子衍射花样的分类 单晶花样: 平行入射束与单晶作用产生斑点状花样;主 要用于确定第二象、孪晶、有序化、调幅 结构、取向关系、成象衍射条件。 多晶花样:同心圆环 织构样品:弧状花样 非晶花样:晕环 多晶衍射环对应于是晶面族{hkl}的衍射,而单晶 衍射斑点对应的是晶面组(hkl)的衍射,故单晶电 子衍射花样在结构分析中更具重要性

Example-cubic system 022 1m 111 000 200 51/nm 6

Example – cubic system 6

Polycrystalline Gold film

Polycrystalline Gold film 7

Amorphous phase 2.6A ~5.9A ~1.6A 5nm Co structure Zsolt Czigany and Lars Hultman,Interpretation of electron diffraction patterns from amorphous and fullerene-like carbon allotropes,2010,Ultramicroscopy,(110),7,815-819. 8 http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2010.02.005

Amorphous phase 8 Zsolt Czigany and Lars Hultman, Interpretation of electron diffraction patterns from amorphous and fullerene-like carbon allotropes, 2010, Ultramicroscopy, (110), 7, 815-819. http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2010.02.005 C20 structure

电子衍射vsX射线衍射 ■相同:衍射原理相同,满足布拉格方程;衍 射花样特点基本相同. ■区别:X射线衍射对整个试样相结构、物 相分析,要求每相需一定的含量,不可观察 组织形貌.电子衍射为微区的相结构、物 相分析,同时可观察照射区的组织形貌其 衍射半角0<1,而X射线衍射0→90

电子衍射 vs X射线衍射  相同:衍射原理相同,满足布拉格方程;衍 射花样特点基本相同.  区别:X射线衍射对整个试样相结构、物 相分析,要求每相需一定的含量,不可观察 组织形貌.电子衍射为微区的相结构、物 相分析,同时可观察照射区的组织形貌.其 衍射半角θ<10 ,而X射线衍射θ→900

■电子衍射与X射线衍射相比的优点 ·电子波长短,单晶的电子衍射花样婉如晶体 的倒易点阵的一个二维截面在底片上放大投影, 从底片上的电子衍射花样可以直观地辨认出一 些晶体的结构和有关取向关系,使晶体结构的 研究比X射线简单。 •物质对电子散射主要是核散射,因此散射强, 约为X射线一万倍,曝光时间短。 ·电子衍射能在同一试样上将形貌观察与结构 分析结合起来

 电子衍射与X射线衍射相比的优点 •电子波长短,单晶的电子衍射花样婉如晶体 的倒易点阵的一个二维截面在底片上放大投影, 从底片上的电子衍射花样可以直观地辨认出一 些晶体的结构和有关取向关系,使晶体结构的 研究比X射线简单。 •物质对电子散射主要是核散射,因此散射强, 约为X射线一万倍,曝光时间短。 •电子衍射能在同一试样上将形貌观察与结构 分析结合起来

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