真空镀膜技术
真空镀膜技术
实验背景传统水电镀由于对环境的污染及需要使用一些剧毒原料已经被国家及各级地方政府所限制发展目前一些企业设立了集中污水处理的水电镀工业园，在一定程度上改变了污水乱排放的现象.但污水处理成本高能耗高而且造成水资源的浪费在此背景下，目前迫切需要寻找一种替代传统水电镀的表面处理方法使传统水电镀行业进行技术升级技术改造既符合国家环保政策又可以满足产品出口的要求同时提高出口产品的附加值
实验背景 传统水电镀由于对环境的污染及需要使用一 些剧毒原料,已经被国家及各级地方政府所限制发 展.目前一些企业设立了集中污水处理的水电镀工 业园,在一定程度上改变了污水乱排放的现象.但污 水处理成本高、能耗高，而且造成水资源的浪费. 在此背景下,目前迫切需要寻找一种替代传统水电 镀的表面处理方法,使传统水电镀行业进行技术升 级、技术改造,既符合国家环保政策,又可以满足产 品出口的要求,同时提高出口产品的附加值
真空电镀相对于传统水电镀有以下优势：1沈积材料广泛：可沈积铝、钛锆等湿法电镀无法沈积的低电位金属。2节约金属材料·由于真空涂层的附着力致密度硬度耐腐蚀性能等相当优良沉积的镀层厚度可以远远小于常规湿法电镀镀层达到节约材料的目的。3.无环境污染·由于所有镀层材料都是在真空环境下通过等离子体沉积在工件表面没有溶液污染所以对环境没有危害
真空电镀相对于传统水电镀有以下优势： 1).沉积材料广泛：可沉积铝、钛、锆等湿法 电镀无法沉积的低电位金属。 2).节约金属材料：由于真空涂层的附着力、 致密度、硬度、耐腐蚀性能等相当优良， 沉积的镀层厚度可以远远小于常规湿法电 镀镀层，达到节约材料的目的。 3).无环境污染：由于所有镀层材料都是在真 空环境下通过等离子体沉积在工件表面， 没有溶液污染，所以对环境没有危害
所以真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分，真空镀膜技术是利用物理化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化防辐射导电导磁绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量延长产品寿命节约能源和获得显著技术经济效益的作用
所以真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与 加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组 成部分.真空镀膜技术是利用物理化学手段将 固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固 体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、 防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于 固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量、 延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济 效益的作用
因此真空镀膜技术被誉为最具有发展前途的重要技术之一并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景这种新兴的真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用如航天、航空、电子、机械化工军事等领域
因此,真空镀膜技术被誉为最具有发展前途的 重要技术之一,并已在高技术产业化的发展中 展现出诱人的市场前景.这种新兴的真空镀膜 技术已在国民经济各个领域得到应用,如航天、 航空、电子、机械、化工、军事等领域
实验目的1、了解真空技术的基本知识：2、学握低、高真空的获得和测量的基本原理及方法；3、了解真空镀膜的基本知识；4、学习掌握蒸发镀膜的基本原理和方法
实验目的 1、了解真空技术的基本知识； 2、掌握低、高真空的获得和测量的基本原理及方 法； 3、了解真空镀膜的基本知识； 4、学习掌握蒸发镀膜的基本原理和方法
实验仪器福
实验仪器
实验原理1真空技术的基本知识：1643年，意大利物理学家托里拆利（E.Torricelli）首创著名的大气压实验，获得真空真空：低于一个大气压的气体状态自然真空：气压随海拔高度增加而减小存在于宇宙空间人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体
实验原理 1、真空技术的基本知识： 1643年,意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli) 首创著名的大气压实验,获得真空. 真空：低于一个大气压的气体状态. 自然真空：气压随海拔高度增加而减小,存在于 宇宙空间. 人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体
真空度：真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量单位体积中的气体分子数越少表明真空度越高由于气体分子密度不易度量通常真空度用气体压强来表示压强越低真空度越高真空量度单位1标准大气压=760mmHg=760（Torr）1标准大气压-1.013x105Pa1Torr=133.3Pa
真空度： 真空度是对气体稀薄程度的一种客观度量,单 位体积中的气体分子数越少,表明真空度越高. 由于气体分子密度不易度量,通常真空度用气体 压强来表示,压强越低真空度越高. 真空量度单位 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) 1标准大气压=1.013x105 Pa 1Torr=133.3Pa
真空区域的划分自前尚无统一规定，常见的划分为粗真空105-103pa（760-10Torr）低真空103-10-1pa（10-10-3Torr）高真空10-1-10-6pa（10-3-10-8Torr）超高真空10-6-10-10pa（10-8-10-12Torr极高真空<10-10pa（<10-12Torr）
真空区域的划分 目前尚无统一规定,常见的划分为： 粗真空 105-103pa(760-10Torr) 低真空 103-10-1pa(10-10-3Torr) 高真空 10-1-10-6pa(10-3-10-8Torr) 超高真空 10-6-10-10pa(10-8-10-12Torr) 极高真空 <10-10pa(<10-12Torr)