SiC作为一种综合性能优异宽禁带半导体，在金属氧化物半导体场效应晶体管中具有广泛的应用。然而SiC热氧化生成SiO2的过程具有各向异性，导致不同晶面上的氧化速率差异较大，这会对半导体器件的性能产生不利影响，因而研究SiC各个晶面上SiO2的生长规律尤其重要。建立有效合理的动力学模型是认识上述规律的有效手段。本文从反应机理和拟合准确度两方面对目前具有代表性的改进的Deal-Grove模型（Song模型和Massoud经验关系式）以及硅碳排放模型（Si?C emission model）进行系统研究和比较。在此基础上，分析已有模型的优缺点，提出本课题组建立的真实物理动力学模型应用的可能性，为SiC不同晶面氧化动力学的准确描述提供进一步优化和修正思路

§9.1 引言 1.化学动力学的目的和任务 3.反应机理的概念 2.化学动力学发展简史 §9.2 反应速率和速率方程 1.反应速率的表示法 2.反应速率的实验测定 3.反应速率的经验表达式 4.反应级数 5.质量作用定律 6.速率常数 §9.3 简单级数反应的动力学规律 §9.4 反应级数的测定 §9.5 温度对反应速率的影响 1.阿累尼乌斯(Arrhenius) 经验公式 2.活化能的概念及其实验测定 3.阿累尼乌斯公式的应用 §9 .6 双分子反应的简单碰撞理论 1. 碰撞频率Z的求算 2. 有效碰撞分数q的计算 3. 速率常数k的计算 4. 碰撞理论的成功与失败 §9.7 基元反应的过渡态理论大意 §9.8 单分子反应理论简介

研究了均匀形核的金属液滴凝固过程,应用渐近分析法求得金属液滴内晶核生长数学模型的渐近解,分析了表面张力、界面动力学参数、初始晶核尺寸和过冷度对晶核界面生长速度、晶核半径以及液滴凝固时间的影响.在一定的过冷条件下,表面张力和界面动力学参数显著减缓了晶核界面生长速度.在凝固开始的很短时间内晶核界面生长速度迅速上升,当速度上升到最大值后,随着晶核半径的增大,界面生长速度逐渐减慢,表面张力和界面动力学参数对晶核生长速度的作用也逐渐减小.过冷度越大,液滴凝固时间越短.经过在开始的瞬变凝固阶段之后,温度场从设定的初始分布迅速地调整为由过冷度、表面张力、界面动力学参数等所确定的特定温度分布

《一》 质点运动学 《二》 质点动力学 《三》 机械能和功 《四》 动量 《五》 刚体力学 《六》 相对论 《七》 振动力学与波动 《八》 热力学平衡态 《九》 热力学定律

➢ 概述 ➢ 轮胎的功能、结构与发展 ➢ 轮胎模型 ➢ 轮胎纵向力学特性 ➢ 轮胎垂向力学特性 ➢ 轮胎侧向力学特性

§12.1 碰撞理论 §12.2 过渡态理论 §12.3 单分子反应理论 * §12.4 分子反应动态学简介 §12.5 在溶液中进行的反应 * §12.6 快速反应的几种测试手段 §12.7 光化学反应 * §12.8 化学激光简介 §12.9 催化反应动力学

1实验目的 (1)测量ZnO催化剂对甲醇分解反应的催化活性,了解反应温度对催化反应的影响。 (2)了解动力学实验中流动法的特点与关键掌握分析处理实验数据的方法

11.1碰撞理论 11.2过渡态理论 11.3单分子反应理论 11.4分子反应动态学简介 11.5在溶液中进行的反应 11.6快速反应的测试 11.7光化学反应 11.8催化反应动力学

临床药代动力学的数学术语及其定义 a在二室模型描述药物在体内分布的表观一级混合速率常数 B在二室模型描述药物消除的表观一级混合速率常数 给药间隔 1肾衰竭时的给药间隔

第一章大气动力学发展回顾与展望 第二章大气运动的坐标系与方程组一一 第三章大气中的涡旋运动 第四章大气的准地转运动 第五章大气边界层 第六章波动理论 第七章 Rossby波的传播与演变 第八章大气的非线性运动