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本章将讨论薄膜淀积的原理、过程和所需的设备,重点讨论SiO2和Si3N4等绝缘材料薄膜以及多晶硅的淀积。 通过本章的学习,将能够: 1. 描述出多层金属化。叙述并解释薄膜生长的三个阶段。 2. 提供对不同薄膜淀积技术的慨况。 3. 列举并描述化学气相淀积(CVD)反应的8个基本步骤,包括不同类型的化学反应。 4. 描述CVD反应如何受限制,解释反应动力学以及CVD薄膜掺杂的效应。 5. 描述不同类型的CVD淀积系统,解释设备的功能。讨论某种特定工具对薄膜应用的优点和局限。 6. 解释绝缘材料对芯片制造技术的重要性,给出应用的例子。 7. 讨论外延技术和三种不同的外延淀积方法。 8. 解释旋涂绝缘介质
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一、课程总体设想 外国文学作品选是汉语言文学专业必修课程。本课程在第 3—4 学期开设, 共 64 学时。每学期课时为 32,周课时 2。 本课程精选世界文学史中具有经典意义的作家作品进行教学。基本思路是:
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一、1960年11月,日本广岛市一男子因不堪忍受工厂噪声折磨刺杀工厂主。 二、1961年7月,日本东京青年因不堪忍受客货车的噪声自杀身亡。 三、1981年,在美国的现代派露天音乐会。 四、华盛顿时间 1991年4月12日上午11点半,美国南部的迈阿密商业机场上的恐怖试验
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一、课程总体设想 外国文学史是汉语言文学专业的专业必修课。本课程开设时间为第 6 学期,共 48 课时。 本课程以史论的方式进行教学,基本思路是以世界文学总体发展为线索,将欧美文 学和东方文学两部分有机融合,尽量研究东西方文学在世界历史发展进程中不同时期的 特征和相互关系,并注重理清东西方文学中文学精神的传承和演变
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本课程系全院学生的公共必修课。本课程是国家教育部核定的“两课” 教学内容所涉及的其中一门。是通过对学生进行法律基础理论的教育,以提高在校大学生的 思想道德修养,做当代合格大学生
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第一节 化学计量学 第二节 化学反应速率的表示方式 第三节 动力学方程 第四节 气固相催化反应本征动力学方程 第五节 温度对反应速率的影响 第六节 固体催化剂的失活
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1.角动量合成的一般规则 我们在很多情况下会遇到角动量合成(即相加)的问题。在本节,我们只注意角动量合成的一般规 律,而不注意那些角动量的具体物理背景,所以我们将采用 Dirac符号。 设j和2是两个互相独立的角动量,这意思是,它们的分量分别满足角动量的对易关系,而它们 互相之间是对易的:
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本节将要介绍的数字控制器直接设计方法,是假定被控对象本身是离散化模型或者是用离散化模型表示 的连续对象,直接以采样系统理论为基础,以Z变换为工具,在乙域中直接设计出数字控制器D(z)
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(一)本课程的教学目的和要求 通过本课程的学习,要求学生了解企业的性质、边界,以及交易费用理论、委托代理 理论、产权理论、资产专用性理论、团队理论、间接定价理论、利益相关者理论的不同特 点,了解契约理论、公司治理理论、企业集团和战略联盟理论、企业绩效评价理论的最新 发展动态,并能应用现代企业理论的逻辑思路和研究方法分析企业经营管理以及相关的社 会经济活动中的实际问题
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1.线性谐振子的代数解法 现在我们介绍解谐振子能量本征方程的代数方法,采用Dirac符号进行分析和推导。 线性谐振子的 Hamiltonian是(这里不涉及采用什么表示)
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