处理器无疑是计算机中最重要的部件,但并不是唯一的部件 。一台计算机也需要随机访 问存储器(R A M)来存放机器码指令以便让处理器执行。计算机还必须有一些方法使这些指 令进入R A M(输入设备)以及一些方法使程序执行结果得以看见(输出设备)。前面讲过, R A M是易失性的,当断电时,它的内容就会丢失。所以计算机中另一个有用的部件是永久存 储设备,当计算机断电的时候,它们可以保存代码和数据
对于中规模、大规模和某些VLSI的IC,前面介绍的基本光刻工艺完全适用,然而 ,对于ULSI/VLSI IC 这些基本工艺已经明显力不能及。在亚微米工艺时代,某些光刻工艺在0.3µm以下明显显示出它的局限性。存在地问题主要包括:光学设备的物理局限;光刻胶分辨率的限制;晶园表面的反射现象和高低不平现象等