对于中规模、大规模和某些VLSI的IC，前面介绍的基本光刻工艺完全适用，然而 ，对于ULSI/VLSI IC 这些基本工艺已经明显力不能及。在亚微米工艺时代，某些光刻工艺在0.3µm以下明显显示出它的局限性。存在地问题主要包括：光学设备的物理局限；光刻胶分辨率的限制；晶园表面的反射现象和高低不平现象等

9.1界面现象和界面自由能 9.2溶液的表(界)面吸附 9.3固体表面吸附 9.4气-固相表面催化反应 9.5胶体性质和结构 9.6溶胶的动力学性质 9.7溶胶的光学性质 9.8溶胶的电学性质

杰出的英国物理学家，经典 物理学的奠基人．他的不朽巨著 《自然哲学的数学原理》总结了 前人和自己关于力学以及微积分 学方面的研究成果，其中含有三 条牛顿运动定律和万有引力定律, 以及质量、动量、力和加速度等 概念．在光学方面，他说明了色 散的起因，发现了色差及牛顿环， 他还提出了光的微粒说．

11-0教学基本要求 11-1相千光 11-2杨氏双缝干涉实验劳埃德镜 11-3光程薄膜干涉 11-4劈尖牛顿环 11-5迈克耳孙干涉仪 11-6光的衍射 11-7单缝衍射

一、光的波动性 光的干涉、衍射. 二、光波是横波 光的偏振 . 三、机械横波与纵波的区别

杰出的英国物理学家，经典 物理学的奠基人．他的不朽巨著 《自然哲学的数学原理》总结了 前人和自己关于力学以及微积分 学方面的研究成果，其中含有牛 顿三条运动定律和万有引力定律, 以及质量、动量、力和加速度等 概念．在光学方面，他说明了色 散的起因，发现了色差及牛顿环， 他还提出了光的微粒说．

10.1 胶体及其基本特性 10.2 溶胶的制备与净化 10.3 溶胶的动力性质 10.4 溶胶的光学性质 10.5 溶胶的电学性质 10.6 溶胶的稳定性和聚沉作用 10.7 乳状液（见九章） 10.8 大分子概说 10.9 大分子的相对摩尔质量 10.10 Donnan平衡

1.了解胶体分散系统的分类及胶体一般制备,净化方法。 2.了解憎液溶胶的动力性质,光学性质,电性质。 3.了解胶体的结构及胶体的稳定性与聚沉作用。 4.了解大分子溶液的一般性质及其分子量的测定。 5.了解唐南平衡及离子交换的应用

高等数学 高等数学（二） 力学 热学 电磁学 光学 理论力学 电动力学 量子力学 热力学与统计物理学 电工学 电子线路 信号与系统 数字电子技术 单片机原理及实验 传感器技术 固体物理学 近代物理学 数学物理方法 现代物理知识专题 物理学史 物理教学论 物理测量与评价 现代教育技术 物理教育研究 教学技能训练 中学物理CAI课件制作

实验一 透射电子显微镜的原理与演示 实验二 孚尔根反应（Feulgen Reaction） 实验三 染色体的标本制作及其组型实验 实验四 染色体G-带的分带技术 实验五 PEG介导的动物细胞融合技术 实验六 线粒体和液泡系的超活染色与观察 实验七 叶绿体的分离与荧光观察 实验八 细胞凝集反应 实验九 腹腔巨噬细胞吞噬功能检测方法 实验十 动物细胞微丝束的光学显微镜观察 实验十一 杂交瘤技术 实验十二 联会复合体的染色与观察 实验十三 细胞生物学设计性实验