一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、 等离子体刻蚀机制 四、未来的纳米光刻技术

为了开发新一代冷轧低合金超高强钢，利用连续退火实验机对Ti-0．12％、Nb-0．076％的冷轧低合金超高强钢进行连续退火实验，设计了760~830℃四种不同退火温度，研究了退火温度对实验钢的相组成、晶粒尺寸和力学性能的影响．在800℃退火、400oC过时效的条件下，可得到铁素体和少量贝氏体的组织，铁素体晶粒尺寸约为1．4μm，屈服强度可达700MPa．同时利用扫描电镜和透射电镜观察到钢中存在大量纳米尺寸的亚晶结构、少量位错以及纳米级的Ti、Nb的析出物．这些微结构单元对强度有较大的提升作用．

复旦大学：《纳米线材料和功能器件》课程教学资料_纳米线生物传感器_Local electrical potential detection of DNA by nanowire–nanopore sensors

复旦大学：《纳米线材料和功能器件》课程教学资料_纳米线电子器件_Encoding Electronic Properties by Synthesis of Axial Modulation-Doped Silicon Nanowires

采用化学气相沉积法以泡沫镍为模板制备三维多孔网状泡沫石墨烯（GF）,利用水热法在其表面垂直生长氧化锌纳米线阵列（ZnO NWAs）,得到三维形貌的ZnO NWAs/GF复合材料.采用扫描电镜、透射电镜、X射线衍射、拉曼光谱等测试方法对该复合材料进行了表征.结果表明：制备的石墨烯层数较少且纯净无缺陷.ZnO NWAs垂直于三维GF表面且尺寸分布均匀.利用电化学方法用ZnO NWAs/GF检测左旋多巴（LD）.电化学测试结果表明,ZnO NWAs/GF在线性范围为0~80μmol·L-1内检测LD时,检测灵敏度为0.41μA·（μmol·L-1）-1,且具有良好的重复性和稳定性.在尿酸（UA）干扰下,ZnO NWAs/GF对检测LD有很好的选择性

复旦大学：《纳米线材料和功能器件》课程教学资料_纳米线的合成（一）_Direct Observation of Vapor-Liquid-Solid Nanowire Growth

复旦大学：《纳米线材料和功能器件》课程教学资料_纳米线的合成（一）_Fabricating Genetically Engineered High-Power Lithium-Ion Batteries Using Multiple Virus Genes

依据分子运动学理论，对含纳米孔隙页岩储层气体渗流规律进行理论分析，建立适用于多尺度介质的气体运动方程和页岩气输运数学模型，得到径向流条件下的压力分布公式，形成页岩气井控制区域计算方法，建立了压裂井三区耦合非线性渗流产能方程.采用牛顿迭代法进行数值计算，研究分析了生产压差、裂缝半长、裂缝导流能力、扩散系数等参数对页岩气井产量的影响.计算结果表明：气井产量随扩散系数的增大而增大，对于含纳米孔隙的页岩储层中扩散效应对气井的产量贡献不容忽视；在一定的储层和生产条件下，气井产量随裂缝半长的增大而先快速增大后趋于平缓，因此存在一个最佳范围，各参数应进行定量的、合理的优化配置

复旦大学：《纳米线材料和功能器件》课程教学资料_纳米线的合成（二）_Rational growth of branched nanowire heterostructures with synthetically encoded properties and function

复旦大学：《纳米线材料和功能器件》课程教学资料_纳米线的组装_Directed Assembly of One-Dimensional Nanostructures into Functional Networks