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SiC半导体不同晶面氧化机理及动力学的研究进展
文档格式:PDF 文档大小:1.29MB 文档页数:10
SiC作为一种综合性能优异宽禁带半导体,在金属氧化物半导体场效应晶体管中具有广泛的应用。然而SiC热氧化生成SiO2的过程具有各向异性,导致不同晶面上的氧化速率差异较大,这会对半导体器件的性能产生不利影响,因而研究SiC各个晶面上SiO2的生长规律尤其重要。建立有效合理的动力学模型是认识上述规律的有效手段。本文从反应机理和拟合准确度两方面对目前具有代表性的改进的Deal-Grove模型(Song模型和Massoud经验关系式)以及硅碳排放模型(Si?C emission model)进行系统研究和比较。在此基础上,分析已有模型的优缺点,提出本课题组建立的真实物理动力学模型应用的可能性,为SiC不同晶面氧化动力学的准确描述提供进一步优化和修正思路
《芯片制造半导体工艺实用教程》PPT教学课件:第七章 氧化
文档格式:PPT 文档大小:1.98MB 文档页数:40
概述 硅表面SiO2的简单实现,是硅材料被广泛 应用的一个重要因素。本章中,将介绍SiO2的 生长工艺及用途、氧化反应的不同方法,其中 包括快速热氧化工艺。另外,还简单介绍本工 艺中最重要的部分--反应炉,因为它是氧化 、扩散、热处理及化学气相淀积反应的基本设 备
辽宁工业大学:《材料力学》课程教学资源(PPT课件讲稿)第五章 弯曲应力(5.1-5.5)
文档格式:PPT 文档大小:3.22MB 文档页数:56
§5-1 纯弯曲 §5-2 纯弯曲时梁横截面上的正应力 §5-3 横力弯曲时的正应力正应力强度计算 §5-4 弯曲剪应力 §5-5 提高弯曲强度的措施
湖南大学:《数据库原理及应用》课程教学资源(PPT课件讲稿)第5章 关系数据库设计理论
文档格式:PPT 文档大小:339.5KB 文档页数:47
一个数据库应用系统往往涉及到多方面的复杂的 数据信息。例如,在学生管理信息系统中,要涉 及到学生、院系、宿舍、课程、成绩等数据。再 例如,在产品销售数据库中设计到产品、类别、 仓库、销售单、销售明细单等数据。 如何将所涉及到的数据组织存入到数据库中?是 放在一个表中存放还是分放在几个表中存放?每 个表应由哪些属性组成?怎样设计才是科学合理 的呢?
湖南大学:《数据库原理及应用》课程教学资源(PPT课件讲稿)第18章 DBS分析设计应用——进销存系统分析设计报告
文档格式:PPT 文档大小:88KB 文档页数:11
第18章DBS分析设计应用一进销 存系统分析设计报告 1.绪论:规划 2.需求分析 3.概念结构设计 4.数据库逻辑结构设计 5.数据库物理设计 6.数据库系统实施 7.测试报告 8.操作说明 9.系统开发总结 10.运行维护报告
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.2弹塑性应力 2.2.3屈服压力和爆破压力 2.2.4提高屈服承载能力的措施
文档格式:PDF 文档大小:277.86KB 文档页数:14
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.2弹塑性应力 2.2.3屈服压力和爆破压力 2.2.4提高屈服承载能力的措施
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.1 弹性应力
文档格式:PDF 文档大小:5.96MB 文档页数:33
西安石油大学:《过程设备设计基础 Basic Theory and Design of Process Equipments》课程教学资源(电子课件)第二章 压力容器应力分析 第二节 厚壁圆筒应力分析 2.2.1 弹性应力
成都信息工程大学(成都信工学院):《无机化学》课程教学资源(PPT课件)第七章 氧化还原反应电化学基础
文档格式:PPT 文档大小:1.52MB 文档页数:72
7.1氧化还原反应的基本概念 7.2电化学电池 7.3电极电势 7.4电极电势的应用
湖南大学:《数据库原理及应用》课程教学资源(PPT课件讲稿)第17章 ORACLE应用
文档格式:PPT 文档大小:70KB 文档页数:12
第17章 ORACLE应用 17.1 ORACLE公司概况 17.2 ORACLE8i基本概念 17.3 ORACLE8i安装 17.4SQ*lus和P/SQL 17.5 ORACLE8i数据库基本操作 17.6 ORACLE8i完整性 17.7 ORACLE8i安全性 17.8 ORACLE8i并发控制 17.9 ORACLE8i备份恢复 17.10 Developer开发工具 17.11习题
武汉大学遥感信息工程学院:《数字图像处理》课程教学资源(PPT课件讲稿)第三章 图像变换
文档格式:PPS 文档大小:166KB 文档页数:18
讲解内容: 1. 图像变换的目的、要求和应用 2. 傅立叶级数、 频谱分析概念及其意义 3.一维、二维连续、离散傅立叶变换定义、性质及其应用 目的: 1. 熟悉二维傅立叶变换定义、性质及其应用; 2. 掌握一维傅立叶变换算法及频谱分析方法
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