一、 MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

一、MEMs发展简介 二、MEMs的制备技术基础 三、典型应用的MEMs

山西师范大学：《薄膜科学与技术》课程教学大纲（材料化学专业）

上海交通大学：《能源材料——原理与应用》课程教学资源（课件讲稿）03 能源材料化学基础（材料制备技术——粉体、薄膜、块体）

4.1 多晶硅半导体的物理基础 4.2 LTPS TFT的工作原理与特性 4.3 LTPS TFT中的关键材料技术 4.3.1 多晶硅薄膜制备技术 4.3.2 绝缘层技术 4.3.3 掺杂与激活 4.4 非晶硅晶化技术

一、薄膜图形化的光刻技术 二、光刻使用的等离子体刻蚀技术 三、等离子体刻蚀机制 四、 未来的纳米光刻技术

一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

一、CVD过程中典型的化学反应 二、CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、CVD薄膜沉积装置

曲阜师范大学：新能源材料与器件专业《薄膜材料与技术》课程教学大纲

一、离子镀方法的原理和特点 二、 各种各样的离子镀方法 三、 其他制备薄膜的PVD方法