一、 CVD过程中典型的化学反应 二、 CVD过程的热力学 三、 CVD过程的动力学 四、CVD过程的数值模拟技术 五、 CVD薄膜沉积装置

地球化学是研究地球及子系统(含部分 宇宙体)的化学组成、化学机制(作用) 和化学演化的科学 从研究对象来看：地球及其子系统(地壳、地幔、及其自然 作用体系，如岩浆作用、沉积作用、变质作用、成矿作用、 表生作用、生态环境等)，目前正在向宇宙天体拓展 从研究的形式来看：主要是元素(同位素)在自然界的化学运 动形式 从研究时间来看：包涵了整个地球、地壳演化和全部作用时 间；对单个元素(同位素)来讲，是研究它们的发生、不断发 展及螺旋式演化的全部历史

采用固体粉末渗硼工艺,研究了YG6硬质合金刀片表面渗硼预处理对金刚石涂层附着力的影响.研究结果表明:YG6硬质合金刀片通过粉末固体渗硼,表面生成具有较好高温稳定性的、以CoB为主的渗层,克服了金刚石沉积中基底表面钴的不利影响,使得经渗硼处理的YG6刀片试样金刚石涂层附着力优于酸浸预处理试样

利用磁控溅射方法在单晶硅基片上制备出不同Al含量AlCN非晶薄膜,随后分别在700℃和1000℃进行真空退火热处理.使用X射线衍射仪和高分辨透射电镜研究了沉积态和退火态薄膜的组织和微观结构,用纳米压痕仪测试硬度和弹性模量.结果表明,退火态薄膜组织和微观结构强烈依赖于薄膜的Al含量.经1000℃退火后,低Al含量AlCN薄膜没有出现结晶现象,但形成了分层;高Al含量AlCN薄膜中,退火促使AlN纳米晶的生成,使薄膜形成了非晶包裹纳米晶的复合结构,随着距表面深度的增加,形成的纳米晶密度和尺寸均有减小的趋势.随着退火温度的升高,AlCN薄膜的硬度和弹性模量均降低;而对于高Al含量AlCN薄膜,由于形成了纳米复合结构,硬度和弹性模量下降幅度减少

一、物质循环的一般特点 二、水循环 三、气体型循环 四、沉积型循环 五、有毒有害物质循环

建立了直流电弧等离子体喷射ＣＶＤ大面积金刚石沉积数学模型．对衬底上方等离子体中的化学环境进行了模拟计算，并与在相同条件下对等离子体的光谱结果进行对比，发现计算结果与实验结果基本上吻合．在模拟条件下ＣＨ基团可能是促使金刚石生长的主要活化基因．模拟结果显示ＣＨ基因沿径向的均匀分布对大面积金刚石膜生长有较大的意义．

利用喷射成形和热挤压的方法制备了含锰为2%(质量分数)的高强铝合金Al-8.8Zn-2.9Mg-1.6Cu合金,用X射线衍射(XRD)、光学显微镜(OM)和扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)等方法研究了铝合金的微观组织,并进行了力学性能测试.研究结果表明:喷射成形制备的含锰铝合金经过热挤压和固溶处理后,基体组织为细小均匀的再结晶晶粒组织,平均尺寸约8μm.MnAl6颗粒在喷射沉积过程中沿晶界析出,经过热挤压后,尺寸大的颗粒破碎,大部分的颗粒则沿挤压方向产生一定的塑性变形.固溶处理对MnAl6颗粒尺寸的影响不明显,但棒状/片状颗粒的边角处发生球化,有利于降低诱发显微裂纹的应力或应变集中.时效后,铝合金达强度为775MPa,延伸率达4.3%,断口以细小的韧窝为主,尺寸小于500nm

从太平洋海底沉积物中分离到的四株异养微生物，进行耐酸和耐金属的驯化，在好氧和厌氧条件下进行异养微生物异化还原大洋多金属结核的实验，并分析了浸出机理．结果表明：厌氧浸出优于好氧浸出，pH控制在2．5～3，浸出时间为3d，浸出率可达98％．利用异养微生物还原浸出大洋多金属矿浸出速率高，矿体无需通气，投资低，易于操作，且环境友好，可在回收有价金属的同时进行固体废弃物和有机废弃物综合治理．

一、物质循环的一般特点 二、水循环 三、气体型循环 四、沉积型循环 五、有毒有害物质循环

《复合材料 Composites》课程教学资源（学习资料）第五章 陶瓷基复合材料_电泳沉积